一种新型光纤位移传感器设计.PDFVIP

　 一种新型光纤位移传感器的设计 　　The Design of a New Type Optical Fiber Displacement Shensor ●卢 启 柱 陆 松 泉 唐 勇 郑 绳 楦 　　Lu Qizhu Lu Songquan Tang Yong Zheng Shengxuan 1 　前言 号光束相干涉 , 再经光电变换及处理后就可得 位移测量是多种物理量 ( 如 : 振动、压力、 到有关被测表面的变化情况。选择与光纤端面 ( 2 ) ) 反射率 R = r ≈4 % 近似相等的反射薄膜粘贴 应变、加速度、流量等 测量的基础。通常有机 械式测量、电磁测量及激光测量等方法。机械式 在被测表面上 , 来获得高可见度的干涉条纹。 测量的精度低 , 速度慢 , 不适于在线测量; 电磁 式测量易受电磁干扰; 光学测量 , 包括激光测量 的精度高, 但该方法受到光的直线传播这一条件 的约束, 因此也不适合于工厂现场应用。本文应 用法布里─珀罗干涉仪把激光与光纤以及计算机 等高科技结合在一起 , 研制了一种新型光纤传感 图 1 　传感头示意图 器 , 实现了在线测量 , 使小位移的分辨率高达 11 10 光纤 F - P 干涉仪的原理如图 2 所示。图 10 m 以上, 精度达±1 ×10 m 以上。 中, 入射光的场强振幅为 a , 光纤芯的折射率为 n1 , 光学谐振腔的折射率为 n2 , 谐振腔的两反射 2 设计原理与分析 在实践中 , 通过对多种干涉式光纤传感器的 面 的振幅反射比都为 r , 光从 n1 到 n2 的振幅透 射比 为 t 1 , 而从 n2 到 n1 的振幅透射比为t2 。可 比较, 我们采用了法布里 ─珀罗 ( 简称 F ─P) 干涉仪。因为在这种干涉仪中 , 信号光束和参考 见 , 反 射光 1 、2 、3 、4 ……幅度分别为 ar 、 at t r 、a t t r3 、a t t r5 ……它们的幅度不等, 光束通过同一光纤 , 所以温度、微弯等外围变化 1 2 1 2 1 2 不会产生光程差的变化 , 因此它具有灵敏度高、 且彼 此互相平行 , 相邻两光束的相位差恒定 体积小、稳定可靠等优点。 ( 当谐振 腔的距离 L 变化时 , 相位差才发生变 ) 图 1 为法布里—珀罗光纤干涉仪的传感头 化 。 示意图。它有一个由传感光纤的端面与被测表 面所组成的光学谐振腔。该谐振腔的介质为空 气 , 折射率近似为 1 。当入射光由光纤芯传输到 光纤端面时 , 一部分光被光纤端面反射回来 , 形 成参考光束 , 另一部分透过空气到达被测表面 , 经被测表面的反射 , 其中的部分光又被反 射回到光纤芯中形成信号光束。参考光束和信 图2 　干涉原理示意图 卢启柱 , 现在燕山大学计算机系工作。地址 : 秦皇岛市 邮政编码 : 066004 ( ) 收稿日期