电子散斑干涉三维调制变形测量分析-光学专业论文.docxVIP

山东师范大学硕士学位论文 山东师范大学硕士学位论文 山东师范大学硕士学位论文 山东师范大学硕士学位论文 PAGE PAGE iv iii iii 电子散斑干涉三维调制变形测量研究 中文摘要 电子散斑干涉测量技术是在激光出现以后迅速发展起来的光学测量技术。此项技术利 用条纹分析的原理对物体变形进行测量，实现对物体的无损检测,具有全场、非接触、精 度高的优点，近二十年来已成为变形场测量的重要方法，应用在不同的领域中。随着工业 和生产的发展以及测量器件精度不断提高，电子散斑干涉测量逐渐向三维、高精度、实时 方向发展，因此应用电子散斑干涉测量技术如何实现物体三维变形的高精度测量成为当下 的重要课题。 电子散斑干涉三维调制变形测量是测量物体变形的重要方法，具有电子散斑干涉的所 有优点，并具有光路简单、易于操作、对环境要求低、成本低廉等优点。本文就电子散斑 干涉三维调制变形测量的原理、操作方法进行了讨论。论文主要内容如下： 1. 介绍了散斑的成因、产生方法及相关概念；回顾了散斑干涉计量的起源与发展； 系统介绍了电子散斑干涉三维测量的现状和发展方向。 2. 回顾了电子散斑干涉测量的发展过程，介绍了几种电子散斑干涉测量的方法和原 理，并介绍了图像处理技术；说明了电子散斑干涉载频调制的由来和发展应用前景。 3. 讨论了电子散斑干涉变形测量的方法、原理及图像处理的方法，介绍了基于沃拉 斯顿棱镜的变形测量电子散斑干涉术，并讨论了新型方棱镜的工作原理；介绍了电子散斑 干涉三维变形测量的原理方法以及应用前景， 4. 基于新型方棱镜，应用电子散斑干涉三维调制变形测量方法对简支梁做了变形测 量，通过一次调制和变形获得图像，并用傅里叶变换方法解调出简支梁变形的面内位移、 离面位移分量；该方法光路简单、易于操作、对周围环境要求低、成本低廉，具有应用于 工程现场检测的前景；并分析了新型方棱镜和沃拉斯顿棱镜的偏振特性，通过分析，表明 新型方棱镜具有成本低、成像质量好和使光路简单的优点。 关键词：测量；电子散斑干涉；载波调制；三维变形测量 分类号：O438 Three dimensional deformation measurement research by electronic speckle pattern interferometry(ESPI) Abstract Electronic speckle pattern interferometry is an optical measurement which evolves immediately after the advent of the laser.The technique is used for the measurement of the deformation of the object through the pattern analysis and makes the non-destructive measurement come true.As it has the merits of whole-field,non-contact and high-accuracy,it has been an important method in the deformation measurement in the recent 20 years and used in different domains.With the development of the industry and production and the improvement of the accuracy of the measurement device,the electronic speckle pattern interferometry(ESPI) is gradually developing toward the three-dimension and high accuracy.So how to make the three-dimensional deformation measurement of the high-accuracy of the object by ESPI come true is an important task. Three-dimensional modulation deformation measurement by ESPI is an important way in measuring the deformation of the object.It includes all the merits of the electronic speckle in