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高分辨宽光谱微型拉曼光谱仪设计 　　摘要： 为了同时满足光谱分辨率、光谱范围、探测器（CCD）上光谱信号覆盖区域要求，提出一种基于CzernyTurner（CT）结构拉曼光谱仪的综合设计方法，通过Zemax?件采用逐步手动调节光栅倾斜，自动优化聚焦镜、柱面镜以及CCD间倾角和距离的方式，设计出全波段光谱分辨率优于4 cm-1，光谱波数范围为80～3 967 cm-1，光学结构尺寸为90 mm×130 mm×40 mm的微型拉曼光谱仪。 　　关键词： 拉曼光谱仪； 光学设计； CzernyTurner结构； Zemax 　　中图分类号： O 436 文献标志码： A doi： 10.3969/j.issn.1005-5630.2017.03.013 　　Micro-Raman spectrometer design for high-resolution and wide-spectrum 　　TAN Mengke1， ZHENG Haiyan2， TIAN Shengnan3， GUO Hanming3 　　（1.School of Optical-Electrical and Computer Engineering， University of Shanghai for 　　Science and Technology， Shanghai 200093， China； 　　2.Engineering Research Center of Optical Instruments and Systems（MOE）， University of 　　Shanghai for Science and Technology， Shanghai 200093， China； 　　3.Shanghai Key Laboratory of Modern Optical System， University of Shanghai for 　　Science and Technology， Shanghai 200093， China） 　　Abstract： In this paper，to simultaneously meet the requirements of the spectral resolution，spectral range and the spectrum signal coverage area on detector（CCD），we used Zemax to adjust the grating angle gradually and manually，optimize the focusing mirror，the cylindrical lens，the CCD angles and distances between all of them automatically.We proposed a comprehensive design method of Raman spectrometer，which is based on the Czerny-Turner（CT） structure，and successfully designed this micro-Raman spectrometer that owned the full-band spectral resolution better than 4 cm-1，wave number spectral range of 80～3 967 cm-1and the optical structure size of 90 mm×130 mm×40 mm. 　　Keywords： Raman spectrometer； optical design； Czerny-Turner structure； Zemax 　　引 言 　　光谱仪是进行光谱研究和物质成分分析的仪器，有着广泛的应用[1]。微型光谱仪具有结构紧凑、体积小、质量轻、使用方便、可集成化、可批量生产以及成本低廉等优点，使其能用于二次开发[2-3]。随着便携式分析仪器的快速发展，宽光谱、高分辨率和小型化是光栅光谱仪发展的必然趋势，这就要求设计者对光谱仪的结构及其优化设计方法不断地进行改进。 　　目前平面光栅光谱仪绝大多数采用的是CzernyTurner（CT）结构[4]。其根本原因，首先在于此结构安排紧凑、体积小，其次在于该结构简单、光路对称且和谱面基本平直。另外，此结构的像质随离开中心距离增大而变坏的速度较其他反射成像结构要慢得多，因此能保证获得满意像质的较宽光谱[5]。在先前许多文献中，设计人员常常主要关注于优化CT结构的光学结构及其光学元件参数