洁净室的检测精华.pptVIP

一般温、湿度测试 根据ISO 14644-3“测试与测试方法”的规定，关于测点位置和数量，原则上由用户与供应商、承包商约定。但各温控区至少要测一个位置上的温、湿度。各温度、湿度传感器应该放置在工作高度上指定的位置。应该待传感器有足够的时间稳定下来以后，再记录各个位置上的温、湿度。测量时间段内至少每6min读一次温、湿度，并作记录。 按洁净室施工及验收规范的具体要求是：在进行温、湿度测定前，净化空调系统应已连续运行至少24h。 测点一般布置在以下各处： 1．送、回风口处。 2．无恒温要求的系统则仅在室中心位置测试。 3．恒温工作区内具有代表性的地点，如沿着工艺设备周围布置或等距离布置。 4．温、湿度自动控制敏感元件设置处。 此外还规定，所有测点宜在同一高度，一般离地面800mm，也可根据空间大小分别布置在离地面不同的高度的几个平面上，测点距外窗外墙表面应大于500mm。 综合温、湿度测试 此项测试建议在有严格的环境控制要求的场合进行。 该测试应在空调系统已经运转，状况已经稳定至少1h后进行。 应该把工作区划分成等面积的格子，格子数量按ISO-14644规定是由用户与供应商、承包商协定，但至少要有3个。 温、湿度测试元件应设置在工作高度，并距吊顶、墙和地面不少于300mm，同时还要适当考虑到热源的存在。 按ISO 14644-3的规定测量时间应该至少1h，要至少6min读一次值并记录下来。 国内行业标准洁净室施工及验收规范”对室内有温、湿度精度要求时的测点数则作了所规定。 此外，要求进行较长时间的连续测量，具体规定为根据对温度和相对湿度波动范围的要求，测量连续进行8～48h，每次测定间隔不大于30min。 温湿度计 电子温湿度计因其方便、可靠、便于距离测量等优点，在洁净室检测、监测中广泛使用。常见的有电容式和电阻式传感器，辅以相应电学仪器，即可测定空气的相对湿度。 电阻式湿度传感器常见的有氧化镍金属氧化物烧结而成的多孔状陶瓷体，或高氯酸锂—聚氯乙烯等高分子材料制成。它们都是利用了在不同湿空气中，由于吸湿量变化而引起的电阻值变化原理制成的湿度传感器。氧化镍陶瓷湿度传感器因其使用寿命长，工作稳定性好，使用较普遍。 电容式传感器 电容式湿度传感器基本上是一个电容器，在高分子薄膜上的电极是很薄的金属微孔蒸发膜，水分子可以通过两端的电极被高分子薄膜吸附或释放，随着水分子的吸附与释放，高分子薄膜的介电系数将发生相应变化。因为介电系数随空气中的相对湿度变化而变化，因此，只要测定其电容值即可得到被测空气的相对湿度。 自净检测 本项检测是测定设施清除空气悬浮粒子的能力。产生粒子的事件发生后，洁净度的恢复性能是设施最重要的能力之一。自净检测仅对非单向流系统重要并推荐采用，若使用人工气溶胶，应防止气溶胶对设施的残留污染。 “洁净室施工与验收规范”所采用的测试方法，与上述ISO 14644标准所规定的方法相类似。测试自净时间的方法是： 本项测定必须在洁净室停止运行相当时间，室内含尘浓度已接近大气尘浓度时进行。如果要求很快测定，则可当时发烟。 如果以大气尘浓度为基准，则先测出洁净室内浓度，立即开机运行，定时读数直到浓度达到最低限度为止,这一段时间即为自净时间如果以人工（如发巴兰香烟）为基准，则将发烟器放在离地面1.8m以上的室中心点发烟1～2min即停止，待1min后，在工作区平面的中心点测定含尘浓度，然后开机，方法同上。 由测得的开机前原始浓度或发烟停止后1min的污染浓度，室内达到稳定时的浓度，和实际换气次数查图，得到计算自净时间，再和实测自净时间进行对比。 照度测试 照度测试宜采用便携式数字照度计。 洁净室（区）照度的检测应在室内温度稳定和光源光输出稳定的状态后进行；对新荧光灯区应使用100h以上，并在点燃15min后进行测试。 照度测试点应选择在工作面高度进行，一般宜为0.85m，通道测试高度宜为0.2m；测试点数量可按每50㎡洁净室（区）面积一个点计算，但每个房间不得少于1点。 照度计 照度计(称勒克斯计)是一种专门测量光度、亮度的仪器仪表。就是测量光照强度(照度) 是物体被照明的程度，也即物体表面所得到的光通量与被照面积之比。照度计通常是由硒光电池或硅光电池和微安表组成。 常用便携式照度计，它的原理是用一种光敏元件做探头，当有光照时就会产生光电流，光线越强光电流越大，测定其电流值，即可测出照度。常用的是0～2000Lux量程，依据不同修正系数可测荧光灯、白炽灯、水银灯、太阳光等多种光源。 照度计 体积小、重量轻 照度计使用的机会非常广泛，运用的时机也常在不同的场所，所以可携带式体樍小、重量轻为照度计的第一先决条件。准确度照度计的良莠与否，和它的准确度有绝对的关系。当然也和它的价格息息相关，因此以合理的价格买个准确