一种多自由度误差同时测量方法.PDFVIP

激光与光电子学进展 51, 081203(2014) Laser Optoelectronics Progress ©2014《中国激光》杂志社 一种多自由度误差同时测量方法 1 1 1 2 3 翟玉生 张志峰 苏玉玲 王新杰 冯其波 1郑州轻工业学院物理与电子工程学院,河南 郑州 450002 2郑州轻工业学院机电工程学院,河南 郑州 450002 3北京交通大学理学院,北京 100044 摘要 提出一种基于激光准直技术的多自由度误差同时测量方法。采用半导体激光单模光纤组件为光源，分别以角 锥棱镜和分光直角棱镜作为二维直线度误差和三维角度误差的敏感器件，实现了直线导轨五自由度误差的同时测 量，且测量移动部分无电缆连接。通过理论分析及实验，验证了方法的可行性和可靠性。在设定参数下，直线度、俯 仰偏摆角和滚转角误差的测量分辨率可分别达到0.1 μm ，0.1″和0.3″。 关键词 测量;多自由度;误差;激光准直 中图分类号 TN247 文献标识码 A doi: 10.3788/LOP51.081203 AMulti-Degree-of-FreedomGeometricErrorsMeasurementMethod 1 1 1 2 3 ZhaiYusheng ZhangZhifeng SuYuling WangXinjie FengQibo 1SchoolofPhysicsandElectronicEngineering,ZhengzhouUniversityofLightIndustry, Zhengzhou,Henan 450002,China 2MechanicalandElectricalEngineeringInstitute,ZhengzhouUniversityofLightIndustry, Zhengzhou,Henan 450002,China 3SchoolofScience,BeijingJiaotongUniversity,Beijing 100044,China Abstract A novelmethod forsimultaneousmeasurementofmulti-degree-of-freedom geometricerrorsis presentedbasedonlasercollimationtechnique.Asingle-modefiber-coupledlasermoduleisusedassource and a corner-cube prism and a splitting rectangular prism are adopted in the moving target to sense the straightnesserrorsandangularerrors,respectively.Inthisway,thehorizontalandverticalstraightnesserrorsas wellaspitch,yawandrollangleerrorscanbemeasuredsimultaneously.Meanwhile,themovingpartiswireless. Thetheoreticalanalysisandexperimentalresultsshowthatthe