基于CMOS平台的硅光子关键器件与平台的硅光子关键器件与工艺研究.PDF

ZTETECHNOLOGYJOURNAL 专题 赵瑛璇 等 基于CMOS平台的硅光子关键器件与工艺研究 DOI:10.3969/j.issn.1009-6868.2018.04.002 网络出版地址：/kcms/detail/34.1228.TN1102.004.html 基于基于CMOSCMOS平台的硅光子关键器件与平台的硅光子关键器件与 工艺研究工艺研究 SiliconPhotonicsDevicesandProcessBasedonCMOSPlatformSiliconPhotonicsDevicesandProcessBasedonCMOSPlatform 中图分类号：TN929.5 文献标志码：A 文章编号：1009-6868(2018)04-0008-007 赵瑛璇/ZHAOYingxuan 武爱民/WUAimin 摘要：面向互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺兼容的硅基光互连体系，研制了 甘甫烷/GAN Fuwan 包括光波导、光栅耦合器、刻蚀衍射光栅、偏振旋转分束器、光频梳以及3D互连新 （中国科学院上海微系统与信息技术研究 器件等的硅光子关键器件，并对相应器件的设计及工艺给出了最新的研究结果。基 所，上海 200050） 于以上关键硅光子器件进行了大规模光子集成，实现了片上集成的微波任意波形发 （ShanghaiInstituteofMicrosystemand 生器，并集成了300多个光器件，包括高速调制、延迟线和热调等功能。面向数据通 InformationTechnology,ChineseAcademy ofSciences，Shanghai 200050,China） 信研制了八通道偏振不敏感波分复用（WDM）接收器，解决了集成系统中的偏振敏 感问题。 关键词：硅光子技术；硅基光互连；大规模光子集成 Abstract: The corecomponentsforsilicon-basedopticalinterconnectionsystem compatiblewithcomplementarymetaloxidesemiconductor(CMOS)platformis developed,includingopticalwaveguides,gratingcouplers,etcheddiffractiongratings, 着集成电路面临摩尔定律失效 polarizationrotator-splitters,opticalcombs,andnewdevicesfor 3Doptical 随的风险，面向片上光互连的硅 interconnections.Basedonthekeysiliconphotonicdevices,alarge-scalephotonic integrationhasbeencarriedouttorealizetheon-chipintegratedmicrowavearbitrary 光子技术成为重要的关键平台性技