FeS-%2c2-薄膜组织结构和光电性能.pdfVIP

摘 要 Yi2336i 且在制备太阳能电池时可以以薄膜形式使用．成本较低．与已有半导体材料相比， 是一种较有研究价值的太阳能电池材料。 本文采用不同的硫化温度、时阳J和压力对相同厚度的Fe膜进行硫化处理来研 究硫化参数对薄膜组织和光电性能的影响。研究结果表明，硫化温度为400。C时能 充分形成FeS。，高于400℃后，硫化温度的升高对FeS：的形成没有明显的促进作 用。硫化温度越高，FeS：晶粒尺寸越大，薄膜电阻率越高，并趋于P型导电。随着 硫化时间的延长，薄膜晶粒呈长大趋势。400。C、80kPa硫化时，薄膜均呈n型导 电特性，而且随着硫化时间的延长，薄膜禁带宽度及电阻率增大。500℃、80kPa 硫化时硫化时间对薄膜光电性能的影响较为复杂。硫化压力的变化对薄膜的组织结 构影响不明显，当硫化压力为lOOkPa时，薄膜具有较高的载流子浓度及较低的薄 膜电阻率。， ‘ 采用硫化不同厚度的Fe膜制备了不同厚度的FeS：薄膜的方法，研究了不同厚 度FeS。薄膜的晶体结构、电阻率、载流子浓度、光吸收系数以及禁带宽度。结果 表明，随着薄膜厚度的增加，FeS。的电阻塞