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二维精密工作台测量系统的设计 　　摘 要： 提出二维精密微动工作台的结构及控制方案。以直线电机作为驱动，由气浮导轨带动工作台实现水平x、y两个方向微位移运动，同时利用光栅传感器构成反馈控制。z方向采用激光位移传感器，实现非接触测量。 　　关键词： 二维工作台；直线电机；气浮导轨；激光位移传感器；误差分析 　　中图分类号：TP273 文献标识码：A 文章编号：1671－7597（2011）0910059－02 　　 　　0 引言 　　传统的二维工作台往往由步进电机驱动丝杠等方式进行驱动，由于中间机械传动环节过长带来了摩擦、爬行等误差，限制了工作台位移分辨力的提高。本文提出了直线电机驱动方式、同时采用气浮导轨，大大减小了误差来源，提高了定位精度，加上高精度的激光位移传感器，组成了高分辨率、高精度的测量系统。 　　1 测量系统的结构 　　该测量系统由激光位移传感器、直线电机、气浮导轨、光栅位移传感器、基板、工作台以及控制用计算机组成。 　　1.1 总体方案 　　二维工作台由两层组成，基板和工作台由平行气浮导轨支撑。为满足测量链最短原则，采用直线电机直接驱动工作台。Y轴和X轴直线电机的动子分别带动基板和工作台进行相应的直线位移。光栅位移传感器作为位移检测元件实现工作台位移的闭环控制。 　　激光测量传感器固定，通过工作台移动实现非接触扫描测量。 　　1.2 二维工作台结构布局 　　考虑到选用单一气浮导轨时，两轴的直线电机的定子、动子以及导轨需要叠加，造成工作台重心过高，而且运动整体平衡性能不佳。因此底层Y轴选取双平行对称气浮导轨带动基板运动。这样，电机和导轨可以占用同一高度空间，降低重心，同时提高了系统的平衡性；X轴选取单个气浮导轨带动工作台运动。 　　2 测量方法设计 　　激光测量传感器采用日本Keyence的LK-G30/G35型，包括LK-G传感头、LK-G控制器和装有LK-Navigator的PC。采用三角法实现物体位移的非接触测量。 　　其测量原理是：一束激光垂直聚焦在被测物体表面，然后从另一角度对物体表面上的光斑进行成像，物体表面激光照射点的位置不同，所接受散射或反射光线的角度也不同，用Li-CCD测出光斑像的位置，即可计算出物体表面激光照射点的位置，从而实现用激光测量物体的表面垂直变化量。[1] 　　X是被测点与参考平面之间的距离， 为入射光束与成像光轴的夹角，a为参考点的物距，b为参考点像距，y为成像屏上像点的位移量。在该测量系统中光线垂直入射。 　　在该测量系统中，工件置于工作台上，首先在x轴电机的带动下沿x轴逐点扫描，完成后在y轴方向移动一步，依次沿y轴扫描。全部扫描完成后得到表面所有点的垂直变化量。 　　测量信号处理如图4所示： 　　系统精度±0.02%，测量垂直范围±5mm，因此测量精度达到1μm，再现性0.05μm。 　　3 控制方法设计 　　选择执行元件时，考虑到基板和工作台的承重及所需驱动力不同，分别由HIWIN集团LMS13、LMS23直线电机驱动。 　　位置反馈光栅位移传感器采用ESSA进口SM12小型光栅位移传感器。为遵守阿贝原则，X、Y向光栅尺的中心线均和直线电机的动子运动方向在一条直线上，且X、Y向光栅尺的中心线与工作台面在运动过程中始终保持共面。它将直线的位移变化转换为脉冲信号，脉冲信号的数量对应移动的距离，脉冲频率则反映了运动的速度。输出信号为矩形方波。两相相差90度的两路波形，能够指示出移动距离和方向。 　　系统要有鲁棒性很强的控制器，以消除内部参数扰动和外界干扰的影响。该系统采用传统的PID控制，根据PID控制原理对整个控制系统进行偏差调节，从而使被控变量的实际值与要求的预定值一致。 　　在扫描测量过程中，要求直线电机按指定的速度运行指定的微位移，因此我们用一个PID控制器来控制电机位移，同时它要控制一个子PID控制器，由子控制器来控制运动速度，由此构成了双闭环系统。首先设置目标位移量，电机驱动工作台运动，由光栅传感器实时检测并反馈实际位移，根据所得的偏差进一步控制电机的微位移，直到达到定位要求。运动速度由位移积分得到。定位精度由光栅的分辨率决定。 　　4 误差分析 　　工作台的定位精度由光栅尺来保证，其定位误差造成水平x、y方向的误差，测量误差为垂直z方向误差。以下为误差来源： 　　4.1 直线电机 　　由于负载直接与直线电机的动子连接，无缓冲环节，所以当负载受到外界干扰或者本身质量等发生变化时会直接对电机运行产生影响；另外系统参数的变化、摩擦力以及直线电机特有的端部效应都直接影响着电机的正常运行。 　　4.2 导轨运动 　　由于气浮导轨系统的不完善，工作平台在进行X或Y向直线运动时，其移动轨迹可能偏离直线，在Y、Z或X、Z