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二自由度直线电机定位平台的设计于特性的研究 　　摘 要：研究二自由度直线电机定位平台设计的特殊性，主要目的是为了提高引线键合设备的效率和质量，对于其结构设计和动静态特性研究，搭建一个定位平台机械系统和控制样机，可以将机械设计理论和实际应用相互结合，采用新型弹性解耦方法， 根据各个项目性质不同要求，选择适合零件进行材料加工，对于小尺寸、轻质量和高结构的特点，最终目的都是为了能够很好保证平台定位精确度问题。 　　关键词：自由度；直线电机；平台设计；特性 　　DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2015.22.195 　　0 引言 　　通过地域模型分析和考察定位对于平台特性问题，可以在一定基础上很好完成平台动态结构设计，然后利用解析方式，结合图形进行合理理论分析，对于平台结构连接方式进行一定优化，建立双方轴定位系统，然后进行全局动力学模型设计和研究工作，建立一个直线形式电机驱动和高速精密平台定位样机，最后进行动态实验，让样机静动特性和有限元分析能够在一定基础上符合要求，定位系统良好动态结构，合理满足对于设计要求定位。 　　1 微型机电系统 　　微型机电系统主要就是采用各种微细加工技术对于制造集微型机构、微型传感器和信号处理器进行一定卫星机械系统样式控制，很多发达国家都设有专门研究机构和微电子封装技术，国际上对于微型机电系统技术已经进行非常全面发展和研究，我国发展也处于非常繁荣时期，微电子封装技术一直都是随着电子类产业发展不断完善和进步。对于封装设备工作，二自由度定位基本都是使用机电和丝杠结构形式设计，最终目的就是提高对于平台速度，现在很多研究机构都使用银圈和电机驱动定位方式进行平台设计工作。 　　2 定位系统动态设计方式 　　封装产业发展要求定位系统具有一定高精要求，国内研制定位平台也都是朝着这高端方向发展的，也同时取得了很多成果，在不断克服很多困难，电机驱动方式也很好避免了对于中间很多环节负面影响问题，使得柔性机构采用减弱方式，很好定位平台研究工作，主要就是围绕着对于很细节问题进行研究。定位平台设计基础原则就是要能够很好满足对于一定指标要求，使得设计产品更加紧促，经济上也更加合理，从机械动力学角度上看，要实现平台高速精密，就要不断保证系统具有非常好动静特性，直驱定位系统之间可以满足无机械摩擦和无间隙的工作行程，控制系统也可以很简单，这些都是精密机构设计中必须要满足的重要原则问题，也是非常科学研究准则。 　　3 直线电机设备 　　直线电机和驱动控制技术现在日趋成熟，在精密加工设备上也已经被广泛使用，直线电机可以看成是旋转电机径向剖开和延伸，旋转电机定子已经开展了直线电机初级阶段研究，转子直线电机的初级，直线电机和普通旋转电机一样都是基于电磁感应方面进行一定研究工作地额，在电机整体绕组放方面，动子在气隙中可以产生一定磁场，这个磁场还可以延展呈正弦的分布，不是像旋转电机转子轴旋转一样，是一种行波磁场，和初级永磁体轨道相互作用的时候，就产生了电磁推力，这就是显现电机运动基本原理问题。一般直线电机驱动有点是不需要任何装置进行直接电能转化的，可以省去很多中间转换机构，消除传统机械传动连接，提高系统快速的反映能力和控制精度问题，使用场合也不会受一定限制，散热能力也比较好。高速封装设备中，直线电机驱动直接性和简洁性都是最合适的驱动方法，直线电机可以主要分为是两个类型，一个是对于永久性同步直线电机和异步直线电机研究，具有非常高的运动性特征和理论，在工业控制领域大多都是使用同步直线电机方法，按照动子是否含有铁心可以分为三种情况，有铁心、无铁心和水冷有铁芯。直线运动导轨的精密机械、自动化和半导体被等等很多领域都广泛应用，这种运行其他行业时候也非常多样化，滚动直线导轨不仅可以适应精密机械高精度要求，还具有节能环保、产品开发等优点，因此应用也非常广泛，运行性能也非常卓越，噪声比较小，不会容易发生微量滑动，可以由于机床、工业机器人、电子装备和半导体设备中。 　　4 定位平台的静态分析 　　定位平台静态特性分析主要研究就是平台工作便面上的直线电机驱动空载和负载问题，工作平台变形对于芯片封装质量具有一定直线性的影响，可以通过直线电机实施有效控制，还要对在外部载荷作用下对于平台电机实施一定控制，定位平台模型表面设计主要用来安装键合的工作板，采用映射网络划分技术进行网络划分，也可以进行静态特性分析。高速精密定位平台是集机、电和磁等多个能量系统的整合，以及相互耦合系统，涉及到机电耦合，刚柔耦合摩擦等很多复杂性问题，传统的动力学建模方法大多数都是会局限于一个能量系统，在解决这类问题时候要能够计算非常精确。 　　柔性连接主要是通过影响整个系统感度和阻尼系统动力学特性问题进行一定分析，然后影响到对于系统动力学方法研究，研