几种主流扩散炉各项对照GOOD-(精品课件).pptVIP

Centrotherm冷却箱 Centrotherm的真空吸笔接口 Tempress的装载系统上无冷却箱 7. 净化风机不同：位置相同，都位于装载系统下部，但形状不一样。 Tempress净化风机 centrotherm净化风机所放位置 centrotherm净化风机外部 tempress净化风机外部 两者的相同之处有： 1.都是采用碳化硅桨进行石英舟的进出舟操作； 2.都有lift，储存架，冷却箱，净化风机，shuttle等装置； 3.都有手动上料台：shuttle Gas cabinate—centrotherm Centrotherm气源柜可以分为如下几个功能区：尾气瓶放置区，bubbler放置区，磷源温度和液位监视区，气体控制区，热排，酸排，冷却水供给及净化区。其位置如图所示。 Bubbler放置区 尾气瓶放置区 气体控制柜 Bubbler放置区 冷却水及净化装置 酸排 热排 尾气瓶放置区 酸排 热排 冷却水及净化装置 气体控制柜 尾气瓶放置区和尾气瓶 工艺气体（氧气，大小氮）进气口 Paddle TC 尾气管 炉体位置 热排口 通向酸排 尾气瓶放置区 凝结器 沉淀收集 防漏盘 热排口 Bubbler放置区 进气管 出气管 至排风 至排风 至排风 至炉内 小氮管 Bubbler放置区 源温及液位监控区 内部情况 外部情况 气体控制区 MFC 气动阀 气体冷却水系统 酸排，热排系统 气源柜上的热排 废液收集瓶 气源柜上的酸排 Gas cabinate—tempress tempress气源柜功能跟centrotherm一样，主要分为如下几个功能区：尾气瓶放置区，bubbler放置区，气体控制区，热排，酸排，冷却水供给及净化区。其下部还放有有控制进程的DPC控制箱。 Bubbler放置区 气体控制区 DPC 尾气瓶放置区 酸排 热排及酸排 气体控制系统 Bubbler及温度控制器 MFC 过滤器 Exhaust压力计 压力计（大氮） 气体管线 尾气瓶 Paddle TC 酸排管道 废液收集瓶 尾气酸排 尾气处理系统 酸/热排风管道 冷却水管道 热排 气体管线 排风及气体，冷却水管线 气体（氧气，氮气，CDA）管线 气体调节阀 DPC为Tempress的控制核心之一，每一管配备一个DPC。整个控制系统的结构示意图如下 DPC DPC DTC TSC- Ⅱ DMC Touch Screen AI/ DI/O TC ETC S-TC 控制及监控系统 centrotherm主要控制系统的组成和作用如下： 1. CMI 计算机 每个机台一个，用于控制装卸系统并显示 CMS和CESAR电脑 2. CMS （central machine safety） 错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉 体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结 果显示在CMI电脑用户界面上，系统对偏差的响应 可设置。 3. CESAR 控制电脑（每个炉体一个） 作用： 1） 创建或更改recipe 2） 定义recipe变量（工艺时间，温度， 压力，气流） 3） start，stop and cancel recipe 4） 数字控制温度 5） 控制气流 6） 装载机组参数设置 7） 与装卸系统进行通讯 8） 监视报警/中断状况（气流，温度，压力） 9） 通过级联控制器控制温度 10） 通过级联温度控制进行自动拉温 11）存储一定数量的recipe 12）记录用户定义的工艺数据 13）对正在运行的工艺进行测试（执行工艺步骤，更改变量，设置/重置停止点等） 4. Cell controller 其中包含用于创建和管理recipe的软件 CCC-RM（Centrotherm Cell Control Recipe Manager）,用于 对CESAR电脑进行集中遥控。 5. Temperature controller 采用REG97温度控制器，硬件部分由 controller，transducer，pulse skipping unit组成。 6. PLC