多层共烧金属化氮化铝陶瓷工艺的研究.docVIP

多层共烧金属化氮化铝陶瓷工艺的研究 　　摘要：氮化铝陶瓷具有热导率高、绝缘性好以及无毒害等特点，由于可以多层布线和金属化共烧，因此在很多领域有着越来越广泛的应用。该文介绍了多层共烧金属化氮化铝陶瓷的工艺方法，重点介绍了印刷、叠片层压、烧结、镀覆工艺以及其性能检测方法等方面的研究。通过上述研究可以生产热导率高、金属化电阻率低且附着力强的多层共烧陶瓷产品。 　　关键词：氮化铝陶瓷；共烧；金属化；热导率 　　中图分类号：TP39文献标识码：A文章编号：1009-3044(2012)23-5701-03 　　Research of Multilayer Metallization and Co-fired AlN Ceramic Processes 　　CAO Kun, PANG Xue-man, XIA Qin-shui, DAI Zhou 　　(The 55thInstitute of CETC, Nanjing 210016, China) 　　Abstract：AlN ceramic has high thermal conductivity, good insulativity and non-toxcity. It can co-fire with multilayer metallization , so it is widely used in many f