测量系统分析在集成电路测试中的应用-集成电路工程专业论文.docxVIP

PAGE PAGE 1 摘 要 测量系统分析（MSA，Measurement System Analysis）是 ISO/TS16949 汽车 行业质量管理体系的核心要素之一。很多跨国公司在考察供应商时，都很注重 审查供应商的质量管理体系，其中衡量供应商的质量保证能力的一个重要参考 指标就是 MSA 的应用情况。同时，测量系统分析也是六西格玛质量管理方法 的一项重要内容，是实施 DMAIC 持续质量改进的关键工具之一。 本论文主要对测量系统分析的理论和方法作了较为系统的介绍，给出了计 量型、计数型测量系统分析的主要特性指标及研究方法。结合本单位的实际情 况，本文分析和讨论了集成电路测试过程中的测量系统的评价内容和方法，对 如何在集成电路测试过程中应用测量系统分析提出了详细的实施方案，内容包 括测试过程简介、测试系统构成介绍、测试的参数分类、影响测试过程的因素 分析、模拟参数方法进行 MSA 的可行性分析、MSA 仿真程序的开发、计量型 测量系统的 MSA、计数型测量系统的 MSA、MSA 程序书及指导书的制定等内 容。 本文用实例详细说明了应用 Minitab 统计软件进行 MSA 数据分析的方法， 极大简化了 MSA 数据分析过程中的复杂计算。并开创性地提出应用模拟参数 代替实际样件特性进行 MSA 研究的方法，解决了在研究集成电路测试过程这 样的复杂测量系统时，大量样件选择和管理困难的问题，降低了研究的成本。 相信本论文能够为从事 MSA 研究的同行提供借鉴，也希望引起更深入、更广 泛的讨论，推动测量系统分析的研究和应用，为改进企业的质量管理提供帮 助。 关键词：测量系统分析，集成电路测试，MSA，计数型，计量型，测试系 统 ABSTRACT Measurement system analysis (MSA) is one of the core elements of the ISO/TS16949 Quality Management Systems. Many multinational companies regard the MSA application as an important reference index of measuring the supplier’s ability to provide stable and acceptable products when they audit the suppliers quality assurance system. MSA is also one of the important contents of the Six Sigma quality management method. It is one of the key tools for the implementation of DMAIC continuous quality improvement. This article systematically introduces the MSA theory and methods. It also gives out the main characteristics and research methods of the Variable and Attribute Measurement Systems. Basing on the company’s actual condition, this paper analyses and discusses the MSA evaluation contents and methods in IC Test. Put forward the detailed implementation plan on how to apply the MSA in IC Test. The contents include brief introduction of IC Test, Tester structure, the classification of test parameters, factors analysis in IC Test, feasibility analysis of the simulation parameter method, the development of MSA simulation program, MSA for variable measurement system and attribute measurement system, MSA procedures and working instructions c