超临界微细电铸过程数值模拟及实验研究-化工过程机械专业论文.docxVIP

Numerical Simulation and Experimental Research on Micro- electroforming Process in Supercritical Fluid A Dissertation Submitted to Changzhou University By Wang Xing-xing Chemical Process Equipment Dissertation Supervisor: Prof. Lei Wei-ning May, 2011 常州大 常州大学硕士学位论文 中 文 摘 要 将超临界特性与电沉积技术有机结合，采用超临界 CO2 电沉积方法 制备高性能纳米晶粒沉积层，是制备纳米材料（铸层）的一种新方法， 为微细特种加工领域提供新的技术途径。 本文在国家自然科学基金项目和江苏省自然科学基金项 目(BK2006043)的资助下，围绕超临界 CO2 流体微细电铸技术制备金属薄 膜的工艺过程进行数值模拟与实验研究。主要开展： （1）针对超临界 CO2 条件下压力和温度两工艺参数对微细电铸体系 乳化液电阻特性的影响，借助 Eviews 软件建立其优化数学模型，利用 Matlab 软件最优化工具箱和 anoval2 方差分析函数进行数值求解和影响程 度分析，并通过实验进行验证。研究表明，模型优化值与分析值基本吻 合；在优化条件下，体系乳化液的电阻分散状态最佳，铸层的显微硬度 提高约 30%；同等条件下压力参数对乳化液电阻的影响更显著，而温度 参数对其影响弱一些，说明采用 Matlab 软件分析超临界流体电铸溶液特 性是行之有效的方法，可为开发微细电铸新工艺提供科学依据。 （2）利用 Matlab 软件模拟分析超临界 CO2 流体微细电铸过程中的电 场和流场分布情况。研究表明，深宽比对微结构的入口处电场电力线弯 曲程度和稠密度有影响，而对底部阴极表面的电力线无明显影响，从而 导致入口处的电流密度分布不均，即铸层表面均匀度不高；具有高深宽 比结构的微器件，单纯依靠搅拌的方式是难以改善离子的传质过程，可 借助辅助超声搅拌、超临界流体等方式改善离子的扩散传质能力，并添 加表面活性剂以提高微细电铸的沉积效果，降低铸层的表面不均匀性。 （3）借助 Matlab 软件偏微分 pdetool 工具箱对超临界 CO2 环境下具 有深宽比结构的单一镍离子和多物质离子扩散传质过程进行模拟分析与 讨论，探讨单一离子扩散传质作用下，不同电流密度和微结构深度对阴 极镍离子浓度的影响规律；同时模拟分析多离子扩散传质过程伴随微结 构深宽比大小的变化规律。研究表明，随着工作时间不断变长，镍离子 扩散传质过程逐渐趋于稳态。较深的微结构应使用较小的电流密度实施 微细电铸，而较浅的应加载较大的电流密度实施电铸；多物质离子传质 过程表明，单纯依靠扩散作用完成微细电铸的传质任务是不能实现的。 （4）采用非离子表面活性剂进行超临界 CO2 流体微细电铸的实验研 究，对微细电铸原理、工艺路线、铸层质量标志及特性评价进行了简单 概述，并对超临界流体微细电铸的实验原理、工艺条件及实验流程进行 详细介绍，主要讨论分析电流密度对超临界流体微细电铸层的表面形貌、 显微硬度、阴极电流效率、沉积速率、铸层厚度的影响规律。研究表明， 随着阴极表面电流密度逐渐增加，电流效率快速下降，镍铸层的显微硬 度、沉积速率、铸层厚度均不断增大，在压力为 10MPa，温度为 323K 条 件下，电流密度为 5A/dm2 时，镍铸层的显微硬度、厚度、阴极电流效率、 沉积速率分别为 701.2HV、39μm、94.51%、51.85mg/(cm2·h)，与传统电 铸相比，超临界 CO2 微细电铸方法制备的镍铸层微观表面平整、致密， 为优化超临界 CO2 流体微细电铸的工艺条件及性能研究提供可靠依据。 关键词：超临界 CO2 流体；微细电铸；乳化液特性；均匀性；扩散传质 ABSTRACT High quality films with fine grains were prepared by the new plating method of nano-materials, which combined the merits of traditional electroplating with supercritical carbon dioxide techniques, it could be helpful to designing novel non-traditional machining technology. This dissertation was supported by National Natural Sci