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超声研磨恒流电源系统关键技术的研究-机械制造及其自动化专业论文
承诺书
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南京航空航天大学硕士学位论文
南京航空航天大学硕士学位论文
超声研磨恒流电源系统关键技术的研究
超声研磨恒流电源系统关键技术的研究
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摘 要
超声研磨由于其独特的加工原理和对加工设备、环境要求不高等特点,是实现纳米级、原 子级加工的主要方法,已成为超精密加工技术中的一个重要部分。本文主要针对固结磨料超声 研磨压电换能器,对其激励电源展开了一系列的研究。
固结磨料超声研磨过程中,随着负载的快速变化,激励电源必须对压电换能器保持快速的 频率跟踪与功率匹配响应,才能满足高效精密加工需求。文章从微观角度分析了固结磨料超声 研磨的材料去除过程,通过建立压电换能器的力学模型,基于力电类比,得出了压电换能器的 等效阻抗与负载变化关系。为改善加工稳定性,提高材料表面完整性,提出了压电换能器的智 能化恒流激励电源驱动方案。针对已有的换能器参数,确定了恒流源的设计目标参数。
超声研磨恒流电源的设计分为硬件电路设计及软件控制系统设计两部分。硬件电路部分主 要由电源供电模块,DDS 正弦信号发生模块,功率放大电路模块,保护、监测电路模块,匹配 电路模块等组成。软件控制部分主要由 DSP 与 CPLD 共同完成。DSP 主要负责提供 DDS 信号, 频率追踪,监控电路等部分,其程序的控制主要依托于中断模块来完成。CPLD 主要负责数据 的传输。
在上述研究的基础上,开展了超声研磨电源性能测试试验。搭建了试验平台,通过在不同 电流及负载下的超声研磨试验,验证了电源的恒流输出及负载变化下的快速响应功能和频率追 踪功能。超声研磨恒流电源的设计达到了预期的目标,并且性能良好。完成了简单的超声研磨 与普通研磨的对比试验,证明了超声研磨相对于普通研磨的优越性,为后续工艺试验的进一步 展开奠定了基础。
关键词: 固结磨料超声研磨,压电换能器,等效阻抗,恒流源,数字信号处理,频率追 踪,电源性能测试试验
Abstract
Duo to the unique processing principle and characteristics of low processing equipment and environmental requirement, ultrasonic lapping as the main method to realize nanoscale and atomic process, has become an important part of ultraprecision machining technique. In this paper, a series of research on the excitation power supply is studied focusing on the piezoelectric transducer of ultrasonic assisted fixed abrasive lapping.
During the process of ultrasonic assisted fixed abrasive lapping, the fast frequency response and power matching of piezoelectric transducer of the excitation power supply are necessary in accordance with the quick change of the load, which is an efficient approach for precision machining. In this paper, the material removal mechanism of ultrasonic assisted fixed abrasive lapping is analyzed from microscopic view. With the establishment of mechanical model of piezoelectric transducer
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