新型多晶硅还原炉底盘流动与传热的数值模拟-化学工业与工程.PDFVIP

UWOY 年 O 月 化; 学; 工; 业; 与; 工; 程 第 ZU 卷 第 O 期 ; 97’]UWOY (-!H=(.;=8?@GAS;.8?;!8C=8!!S=8C T%F]ZU 8%]O %%%%%%%%%% % % % % 化工模拟 与计算 ;;%## OW]OZZYZ XL]#55’]OWWR]PYZZ]UWOY]WO]WWP %%%%%%%%%% 新型多晶硅还原炉底盘流 动与传 热的数值模拟 $ 周; 阳!段; 连 !黄哲庆 !刘春江 !天津大学化工学 院 化学工程 联 合国 家重点 实 验 室 天津 ZWWW_U 摘要 %多晶硅 还原 炉 的底盘 取 热结构对 降低 能耗 有很 大影响 #提 出 了一 种 新 型 的 多 晶硅 还原 炉底 盘 均匀取 热结构 #并就 其 温度 均匀 性 %冷却 效果 与 传 统底盘 结构进行 比较 $ 该 新 型 底盘 结构 由 中 间隔板 分为 U 层 #并在 隔板 上安 装 电极位置 的孔 周 围焊接竖直环 隙$ 冷却 水 由隔板 下层 的 冷却 水 进 口进入 底盘 并 流 经各 电极周 围的环 隙进 入 隔板 上 层 的还原 炉底盘上 底 板 实现均匀取热 $ 与 传 统 多晶硅 还原 炉底盘结构相 比 #该结构 克服 了传统 结构下底盘 取 热 不均匀 的 问题$ 就 新 型底盘 取 热结构 中的单棒 环 隙结构进行模 拟优 化 $ 重 点考察 环 隙上 焊接挡 板 的厚 度 %宽度 及数 量 对 冷却 效 果的影响 $ ZWW f的冷却水做 工作介 质 #底盘 材料 用 不锈 钢 $ 模 拟后得到的 单棒 环 隙结构 的最适 宜结果为 竖直环 隙挡板 厚度 O 33#挡板 宽度 O 33#挡 板 间距 OW 33水 平 环面 挡 板 厚 度 O 33#挡 板 宽度 O 33#挡板 间距 OW 33换 热效果较传 统底盘提 高 ZUj #温度均匀性提 高 YRj $ 关键词 %多晶硅 传热 数值模 拟 还原 炉 中图分 类号 %ANWUO^Z; 文献标志码 %.; 文章编 号 %OWWR VPYZZ #UWOY $WO VWWRO VW_ 6,$#/%’(%$,(’.%4*4R(4I’*+C#’.S/’*-#/%*’ 64=#(?4(0-%(%4* P#+,.%4*R,/*’#.-Y’-#G4’/+ $ ,)%1 7’4 ?17’ #7’ -17’4,)*M#’4 #1 ()1’L#7’4 !G6)%%F%+()*3#67F!’4#’**#’47’ A*6)’%F%4D G$7$*f*D7I%7$%D%+()*3#67F!’4#’**#’4 A#7’L#’ @’#d*5#$D A#7’L#’ ZWWW_U ()#’7 FG-./’.#G#*3*’5c%6*55*’*4D6%’513c$#%’ 67’ I*F#3#$* ID+1’