白光干涉量测原理及应用ApplicationofDNano-scalesurface.PDF

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白光干涉量测原理及应用ApplicationofDNano-scalesurface

AOI Lab 白光干涉量測原理及應用 陳亮嘉 教授 Department of Mechanical Engineering National Taiwan University Application of 3-D Nano-scale surface profilometry • TFT LCD • Semiconductor wafers • Optic Fiber Products (Ferrule/Pigtail) • Nano materials development • Data storage materials • Bio-medical Engineering • Precision Machined Surface Capability Analysis on 3-D Surface Profiling Systems Interferometry and Phase Retrieval for Automatic Optical Inspection Precise measurement: -semiconductor MEMS -defense/aerospace -Optics Photonics -Automotive/Precision Machining -Flat Panel Displays Key Benefits: • Increase Yields • Boost Productivity and Efficiency • Improve Time-to-Market • Optimize Process Knowledge • Lower Operating Costs • Shorten Cycle Times and Ramp-Up • Reduce Scrap and Re-work • Minimize Down Time AFM vs Interferometry 500 Sources courtesy from SNU Incorp. Confocal Microscopy vs Interferometry 1 ~ 10 nm 0.1 nm 10 nm 500 nm Advantages of Interferometric Measurement • Non-destructive and non-contacted Measurement • 3-D Surface Profile Measurement • Multiple Field of View (FOV) Lens • Nanometer Level Resolution and L

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