肖特基热场发射特色.PDFVIP

肖特基热场发射特色 Apollo300 一、 关于电子光学系统 CamScan 是电子光学设计的领导者。其扫描电镜采用最先进的电子光 学系统，并配以一系列先进的、有些是专利的设计，在电子束对中、消像散、 调焦等方面均取得了很大的技术进步。Apollo 300 为高精度预对中三级透 镜，由安装了高亮度肖特基电子光源的热场电子枪和两级磁透镜组成，在高 倍下图象清晰，并且高倍景深很好；而其最小放大倍数可以低于 10 倍。 d 尤其是采用上位探测器观察高位图像时，采用了独特的电子光学设计，大大 增强了高倍景深和图像立体感。 e r e t s i g e R 标准SE 探头 n 蛋壳 15kV x10K Through-LENS 探头 U CamScan Apollo 系列扫描电镜电子束的最大束流为 100nA，非常适合 于做分析型的扫描电镜使用。 、 几何位置可调整的二次电子探测器— In Chamber 探测器 CamScan 公司设计了几何角度可调的二次电子探测器。这是一种独特 的设计，其意义为：当样品落差较大或工作距离较大时，被激发的二次电子 信号到探测器的距离会相对较长而衰减。通过这一调整，可以使二次电子探 测器更为靠近样品的观察区域，从而改善图象质量。 、 Delphi 透镜穿过式 (Through-Lens)二次电子/背散 射电子探测器 为增强小工作距离下观察高 分辨率图象的效果， CamScan 设计了 Delphi 透 镜穿过式(Through-Lens) 组合式上位二次电子/背散 射电子探测器。 其在物理上是两个探测器集成在镜筒内， d 位于物镜的上方。一个探测器专门负责探测背散射 e 电子信号，一个探测器专门负责探测二次电子信号。 r 、 可变能量技术 e t Apollo 300 热场发射扫描电镜采用可变能量技术，即某公司所谓的减速技 s i 术。Apollo 300 不依赖于在样品台上形成电场来对入射电子束进行减速，而 g 是在末级物镜附近设计了一套减速器，从而保证了减速模式下的样品室内无 e 场工作。在 1kV 下，其分辨率可达 2nm 以内。 R 五、超大样品室 n