离子束混合镍2钼多层膜显微结构与抗磨性3.PDF

第 17 卷　第 1 期 摩 擦 学 学 报 17, 　 1 V o l N o 1997 年 3 月 TR IBOL O GY M arch 1997 ( ) 研究论文 1～ 10 离子束混合镍钼多层膜的显微结构与抗磨性 张　伟　张绪寿　薛群基 ( 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室　兰州　730000) 摘要　采用蒸发沉积结合 + 束轰击混合的方法, 在 15 轴承钢底材表面制备了 多 N e GC r N i M o 层膜, 并且利用俄歇电子能谱仪、透射电子显微镜和 射线衍射仪等, 对 多层膜的元素 X N i M o 组成和分布, 以及膜层的显微组织形态、相结构和硬度等进行了系统的观察、分析与测量, 同时 还就这种多层膜的抗磨特性进行了试验研究. 结果表明, 多层膜实际上是由纳米微晶组 N i M o 成的 ( , ) 纳米多层膜. 这种多层膜的硬度比用同种方法制备的 或 单层膜的硬 N i M o C O N i M o 度都高, 且其抗磨性能优良, 这归因于多层界面和纳米晶粒强化效应有效地抑制了裂纹的扩展. 关键词　离子束混合　多层膜　纳米微晶　结构分析　抗磨性能 分类号　 484. 4 O 材料表面改性是材料科学领域的重要研究方向之一. 随着表面改性技术的发展, 一些特 殊结构的表面改性涂层已经引起人们的极大关注. 超微结构材料, 特别是由2 种或 2 种以上 材料构成的组分交替微层展现出与相应组元构成的材料截然不同的性质. 人工调制组元的 〔1〕 周期性晶格畸变能够产生出具有独特物理化学性质的材料. 人们已经分别利用电镀 、离子 〔2 〕 〔3 〕 镀 和磁溅射 等方法制备出组元交替的纳米多层体系. 研究表明, 纳米多层膜大都具有高 〔4～ 6 〕 的屈服强度和硬度, 以及特殊的光学性能和磁性能 . 尽管具有特殊结构的纳米多层膜在 〔7 〕 摩擦学领域的研究报道还不多见, 然而 等 的研究结果表明, 多层合金膜具有 R u ff N i Cu 很好的抗磨性. 本文作者采用蒸发沉积结合离子束轰击混合的方法, 在 GC r 15 轴承钢底材的 表面制备出 多层膜, 并对这种膜的显微结构及其抗磨性进行了系统的考察与评价. N i M o 1　试验部分 1.