Cr金属桥膜换能元制备和性能.PDFVIP

钝感 ＮｉＣｒ金属桥膜换能元的制备及性能 ８１９ 文章编号：１００６９９４１（２０１４）０６０８１９０５ 钝感 ＮｉＣｒ金属桥膜换能元的制备及性能 王科伟，杨正才，刘海旭，曾祥涛，王昊静，李　宁，潘守华，曹建强，周党锋 （北方特种能源集团西安庆华公司，陕西西安 ７１００２５） 摘　要：采用磁控溅射技术设计加工了一种满足钝感电火工品的 ＮｉＣｒ金属薄膜桥换能元，在起爆桥区中心涂抹三硝基间苯二酚 铅，对其进行了安全电流、抗静电性能、断桥时间、作用时间的测试，并与半导体桥换能元、桥带式换能元进行了性能对比。结果表 明，电阻为（１±０．１） 时，在相同散热条件下，该 ＮｉＣｒ金属薄膜换能元安全性较其他两种换能元裕度大，作用时间、断桥时间介于 Ω 半导体桥和桥带式换能元之间，采用 ５Ａ发火，引爆三硝基间苯二酚铅的作用时间小于 １ｍｓ。 关键词：火工品；磁控溅射；钝感；金属桥膜；安全电流；作用时间；断桥时间 中图分类号：ＴＪ５５；Ｏ３８９ 文献标志码：Ａ ＤＯＩ：１０．１１９４３／ｊ．ｉｓｓｎ．１００６９９４１．２０１４．０６．０２０ 于加热元件的制膜工艺研究较为成熟，如大连理工大 １　引　言 ［１０］ 学研究的 ＮｉＣｒ金属薄膜加热器 ，但火工器件研究 与先进的 ＭＥＭＳ制造工艺脱离，不满足钝感电火工品 　　随着弹药对安全性的要求越来越高，火工品的钝 的新要求。为此，本研究采用磁控溅射、光刻、湿法腐 感性能也备受关注，钝感电火工品的技术指标为发火 蚀等技术制备了一种特定尺寸的 ＮｉＣｒ合金薄膜桥换 电流 ５Ａ／５０ｍｓ，安全性 １Ａ１Ｗ５ｍｉｎ，脚脚间防静 电［１］。钝感火工品的换能元主要包括传统的金属桥 能元，测定了其电阻率，并在此基础上，设计加工了电 阻为１ 的薄膜换能元。与陶瓷电极塞集成后，对发 丝、桥带、半导体桥，以及金属膜桥。金属桥膜是 ２１ Ω 世纪初期伴随微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术发展起 火件的安全性、点火性、作用时间等参数进行了测试， 来，主要由基底、金属薄膜有效作用区和导电层三个部 并与半导体桥、钝感 ＮｉＣｒ桥带的安全电流、最小全发 分构成。当薄膜横截面积较大时，其发火与灼热桥丝 火电流和作用时间等进行了对比分析，获得了一种适 式作用机理相近，为热传导机理；当薄膜横截面积较 用于钝感火工品的新型膜桥换能元。 小时，其发火与半导体桥作用机理相近，为微对流作用 ２　实验 机理［２］。与桥丝、桥带等相比，桥膜具有外形可调、一 致性高、易于小型化等优点，可满足多层复合式结构等 ２．１　ＮｉＣｒ金属桥膜换能元的制备工艺与条件 特殊形状的设计需求；同时，因具有点火可靠性高、安 　　金属桥膜的结构主要分四层：第一层选用绝缘性 全性能好、响应快等特点而受到广泛关注。 好、导热系数高，能有效提高换能元钝感性能的 ９５％ 　　美国 Ｖｉｓｈａｙ公司［３］ ［４］ 、微组装技术（ＭＡＴ）公司 、 ＡｌＯ 陶瓷为基底；第二层为将电能转换成热能的 ２ ３ 法国国家科学研究中心［５］、新加坡国立大学机电学 ＮｉＣｒ（８０％Ｎｉ、２０％Ｃ