使用曲面微通道板和感应电荷位置灵敏阳极的软载射线鄄极紫外光子.PDF

第愿卷摇 第缘期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援愿摇 晕燥援缘 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员缘年员园月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 韵糟贼援圆园员缘 文章编号摇 圆园怨缘鄄员缘猿员渊圆园员缘冤园缘鄄园愿源苑鄄圆远 使用曲面微通道板和感应电荷位置灵敏阳极的 软载射线鄄极紫外光子计数成像探测器研究 尼启良 渊中国科学院长春光学精密机械与物理研究所袁吉林长春员猿园园猿猿冤 摘要院本项目对我国空间探测的极紫外渊耘哉灾冤波段大视场相机所需求的球面光子计数成像探测器的关键技术进行了研 究遥 首先袁建立了光阴极材料次级电子产出模型袁利用该模型计算了软载射线鄄耘哉灾波段常用的光电阴极材料要碱卤化 物的次级电子产出袁分析了微通道板渊酝悦孕冤的次级电子产出遥 建立了测量酝悦孕量子探测效率的装置袁并推导出酝悦孕量 子探测效率的计算公式袁测量了酝悦孕在软载射线鄄耘哉灾波段的量子效率以及酝悦孕量子效率随掠入射角的变化遥 其次袁 建立了球面实芯微通道板的制备装置袁利用高温热成型方法制备出曲率半径为员缘园皂皂球面酝悦孕袁利用光刻技术制备出 有效直径为源愿皂皂 的楔条形感应电荷位置灵敏阳极袁在此基础上集成了一套使用球面酝悦孕和感应电荷位置灵敏阳极的 两维光子计数成像探测器遥 再次袁研制出包括快速前端模拟电路与后续数字电路的成像读出电路袁编制了能矫正图像畸 变的图像实时采集和处理软件遥 最后袁建立了酝悦孕探测器空间分辨率尧图像线性的检测装置袁对研制出的探测器性能进 行了检测袁检测结果表明院探测器的各项技术指标完全满足要求遥 关摇 键摇 词院软载射线极紫外曰曲面微通道板曰位置灵敏阳极曰感应电荷 中图分类号院栽孕猿怨源援员曰栽匀远怨员援怨摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 凿燥蚤院员园援猿苑愿愿辕悦韵援圆园员缘园愿园缘援园愿源苑 杂燥枣贼载鄄则葬赠葬灶凿藻曾贼则藻皂藻怎造贼则葬增蚤燥造藻贼责澡燥贼燥灶鄄糟燥怎灶贼蚤灶早蚤皂葬早蚤灶早 凿藻贼藻糟贼燥则憎蚤贼澡糟怎则增藻凿泽怎则枣葬糟藻皂蚤糟则燥鄄糟澡葬灶灶藻造责造葬贼藻葬灶凿 蚤灶凿怎糟藻凿糟澡葬则早藻责燥泽蚤贼蚤燥灶鄄泽藻灶泽蚤贼蚤增藻葬灶燥凿藻 晕陨匝蚤鄄造蚤葬灶早 渊悦澡葬灶早糟澡怎灶蚤灶泽贼蚤贼怎贼藻燥枣韵责贼蚤糟泽袁云蚤灶藻皂藻糟澡葬灶蚤糟泽葬灶凿孕澡赠泽蚤糟泽袁 悦澡蚤灶藻泽藻粤糟葬凿藻皂赠燥枣杂糟蚤藻灶糟藻泽袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园猿猿袁悦澡蚤灶葬冤 鄢悦燥则则藻泽责燥灶凿蚤灶早葬怎贼澡燥则袁耘鄄皂葬蚤造院灶蚤择蚤造蚤葬灶早岳澡燥贼皂葬蚤造援糟燥皂 粤遭泽贼则葬糟贼院栽澡藻则藻泽藻葬则糟澡燥灶噪藻赠贼藻糟澡灶蚤择怎藻泽燥枣憎蚤凿藻枣蚤藻造凿藻曾贼则藻皂藻怎造贼则葬增蚤燥造藻贼渊耘哉灾冤 泽责澡藻则蚤糟葬造皂蚤糟则燥鄄糟澡葬灶灶藻造 责造葬贼藻渊酝悦孕冤责澡燥贼燥灶鄄糟燥怎灶贼蚤灶早蚤皂葬早蚤灶早 凿藻贼藻糟贼燥则憎澡蚤糟澡憎蚤造造遭藻怎泽藻凿蚤灶泽责葬糟藻责则燥遭藻蚤灶悦澡蚤灶葬澡葬增藻遭藻藻灶凿燥灶藻援 云蚤则泽贼造赠袁贼澡藻泽藻糟燥灶凿葬则赠藻造藻糟贼则燥灶赠蚤藻造凿皂燥凿藻造燥枣责澡燥贼燥糟葬贼澡燥凿藻皂葬贼藻则蚤葬造憎葬泽遭怎蚤造贼袁葬灶凿贼澡藻泽藻糟燥灶凿葬则赠赠蚤藻造凿燥枣葬造噪葬鄄 造蚤澡葬造蚤凿藻葬灶凿酝悦孕蚤灶泽燥枣贼载鄄则葬赠葬灶凿耘哉灾遭葬灶凿憎藻则藻糟葬造糟怎造葬贼藻凿怎泽蚤灶早贼澡藻皂燥凿藻造援 栽澡藻皂藻葬泽怎则藻皂藻灶贼藻择怎蚤责皂藻灶贼 燥枣酝悦孕忆泽择怎葬灶贼怎皂凿藻贼藻糟贼蚤燥灶藻枣枣蚤糟蚤藻灶糟赠葬造泽燥憎葬泽泽藻贼怎责援 栽澡藻糟葬造糟怎造葬贼藻凿枣燥皂怎造葬燥枣酝悦孕忆泽择怎葬灶贼怎皂藻枣枣蚤糟蚤藻灶糟赠 憎葬泽蚤灶贼则燥凿怎糟藻凿袁葬灶凿酝悦孕忆泽择怎葬灶贼怎皂藻枣枣蚤糟蚤藻灶糟赠增泽援 憎葬增藻造藻灶早贼澡葬灶