改良式VOCs冷凝吸收技术介绍.PDFVIP

改良式 VOCs 冷凝吸收技術介紹 粘愷峻、張豐堂、陳見財 傳統冷凝器需利用冷凍設備將操作溫度控制在相當低溫以及足夠的停留時 間，方能以冷凝機制去除 VOC ，並確保處理後廢氣所含VOC 濃度值達到最低； S S 不過如此傳統冷凝方式應用於排放量相當大而且濃度較稀(1,000ppmv)之高科 技業，其為達高冷凝效率而須降到極低溫，所需付出能源耗損及設備的維護成本 會相當高。因此希望藉由改良傳統式冷凝器設計，有效提升冷凝回收系統之效 率，並可以減少傳統冷凝器之能源耗用。 1.冷凝原理 冷凝的原理係基於熱量交換，達到氣體冷卻、降溫結露等現象為其主要機 制。由於氣體體積在相同下與絕對溫度成正比，因此溫度降低後不但沸點較高 的物質結露冷凝發生相變化變成液體狀而與氣 體分離，氣體本身的體積也減 少。當氣體與低於其凝結露點溫度(dew point)的表面或微小粒子 (凝結核;如微 塵、更高沸點凝結微霧、鹽類等 ) 接觸附著時即會發生相變化而產生結露冷凝 作用，並於接觸表面形成液膜或包覆微小粒子 (凝結核) 而成 10微米左右的霧滴 (mist) 。 有關於混合液體與氣體間的平衡關係，則可用 Raoult’s Law 來描述。即溶 液中某一成分，其氣體分壓為此成分的蒸氣壓與莫耳分率之乘積： 0 P = P X A A A 其中 P = A之氣體分壓 A 0 PA = A的蒸氣壓 XA = A在溶液中的莫耳分率 當 X =1時 (溶液為純物質時) P = P 0 ，換言之，當氣流中之污染物之氣體 A A A 分壓等於該污染物的蒸氣壓時，即可產生冷凝作用而析出液體污染物。 2.冷凝回收系統 圖 1為一般去光阻製程之去光阻液回收及供應系統平衡示意圖，其去光阻 液之質量平衡計算表示如下，一般各廠均要求去光阻液回收率須達 75% 以上。 由示意圖可看出冷凝之回收效率只要能有效提升，亦可立即減少去光阻新液之 額外添加量，直接降低製程操作成本。 1 供應製程量 (A) ＝系統回收量(G) ＋新液添加量 系統回收量(G) ＝冷凝回收量(C) ＋製成排出量(D) －廢棄光阻液量(F) 新液添加量＝ MEA添加量 (H) ＋去光阻液添加量(I) 去光阻液回收率(％) ＝系統回收量(G)/供應製程量 (A)×100％ B 冷凝器 去光阻製程 管壁附著損失 D A C E G 去光阻液 緩衝槽 MEA 系統 混合單元 回收系統 H I F MEA添加