超像素调制数字光刻分辨率增强技术研究-光学工程专业论文.docxVIP

PAGE PAGE IV 南昌航空大学硕士毕业论文 ABSTRACT method is analyzed in theory. Then lithography system is set up according to the characteristics of multi pixel shifting modulation method. The characteristics of the system is can flexibly driving and move at any angle. Finally, the example of making the micro lens , the design method of multi-pixelation move modulation digital mask is proposed, which proves that the quality of digital lithography can be improved by adopting the multi-pixelaiton moving modulation method. Keywords: Micro-optical elements, DMD, Resolution of digital lithography, Axial super-pixelation modulation method, Multi-pixelation moving modulation method 南昌航空大学硕士毕业论文目录 南昌航空大学硕士毕业论文 目录 目录 摘要 I ABSTRACT II HYPERLINK \l _bookmark0 目录 IV HYPERLINK \l _bookmark1 第 1 章 绪论 1 HYPERLINK \l _bookmark1 1.1 无掩模光刻技术的发展 1 HYPERLINK \l _bookmark1 1.1.1 电子束光刻技术 1 HYPERLINK \l _bookmark2 1.1.2 离子束光刻技术 2 HYPERLINK \l _bookmark2 1.1.3 激光直写技术 2 HYPERLINK \l _bookmark3 1.1.4 波带片阵列光刻技术 3 HYPERLINK \l _bookmark4 1.1.5 数字光刻技术 4 HYPERLINK \l _bookmark5 1.2 光刻分辨率增强技术 5 HYPERLINK \l _bookmark6 1.2.1 离轴照明技术 6 HYPERLINK \l _bookmark7 1.2.2 光学邻近效应校正技术 7 HYPERLINK \l _bookmark8 1.2.3 移相掩模技术 9 HYPERLINK \l _bookmark9 1.2.4 数字分形掩模技术 10 HYPERLINK \l _bookmark10 1.3 本论文研究的主要工作 11 HYPERLINK \l _bookmark11 第 2 章 超像素调制光刻技术 13 HYPERLINK \l _bookmark11 2.1.引言 13 HYPERLINK \l _bookmark11 2.2 轴向超像素调制光刻方法 13 HYPERLINK \l _bookmark11 2.2.1 设计原理 13 HYPERLINK \l _bookmark12 2.2.2 仿真验证 15 HYPERLINK \l _bookmark13 2.3 多像素移动调制光刻方法 17 HYPERLINK \l _bookmark13 2.3.1 设计原理 17 HYPERLINK \l _bookmark14 2.3.2 ?光刻法理论 18 HYPERLINK \l _bookmark15 2.3.3 仿真验证 21 HYPERLINK \l _bookmark16 2.3.4 微透镜数字掩模设计方法 22 HYPERLINK \l _bookmark17 2.4 总结 23 HYPERLINK \l _bookmark18 第 3 章 超像素调制光刻系统设计 25 HYPERLINK \l _bookmark18 3.1 前言 25 HYPERLINK \l _bookmark19 3.2 超像素调制成像系统 26 HYPERLINK \l _bookmark19 3.2.1 数字微镜器件(DMD) 26 HYPERLINK \l _bookmark20 3.2.2 精缩物镜