磁控溅射技术制备Al2O3掺杂ZnO透明导电膜的薄膜性能研究-凝聚态物理专业论文.docx

独 创 性 声 明 本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究 成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人 已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得吉首大学或其它教育机构的学位 或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论 文中作了明确的说明并表示了谢意。 研究生签名： 时间： 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本人完全了解吉首大学有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留 送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。同意吉首大学可以用不同方式在不同媒体上发 表、传播学位论文的全部或部分内容。 (保密的学位论文在解密后应遵守此协议) 研究生签名： 时间： 年 月 日 导师签名： 时间： 年 月 日 目录 目录 目录 HYPERLINK \l _bookmark0 摘 要 i HYPERLINK \l _bookmark1 ABSTRACT ii HYPERLINK \l _bookmark2 第一章 绪 论 1 HYPERLINK \l _bookmark3 1.1 引 言 1 HYPERLINK \l _bookmark4 1.2 ZnO 及 ZnO 薄膜的基本性质与应用 2 HYPERLINK \l _bookmark5 1.2.1 ZnO 的晶体结构 2 HYPERLINK \l _bookmark6 1.2.2 基本性质 3 HYPERLINK \l _bookmark7 1.2.3 基本应用 5 HYPERLINK \l _bookmark8 1.3 ZnO 的研究现状 7 HYPERLINK \l _bookmark9 1.3.1 ZnO P 型掺杂的研究现状 7 HYPERLINK \l _bookmark10 1.3.2 ZnO N 型掺杂的研究现状 8 HYPERLINK \l _bookmark11 1.4 本论文的主要研究内容 9 HYPERLINK \l _bookmark12 1.4.1 本论文的主要研究思路 9 HYPERLINK \l _bookmark13 1.4.2 论文主要包括的内容 9 HYPERLINK \l _bookmark14 第二章 AZO 薄膜的制备和表征方法 11 HYPERLINK \l _bookmark15 2.1 主要制备方法 11 HYPERLINK \l _bookmark16 PVD 技术介绍 11 HYPERLINK \l _bookmark17 CVD 技术介绍 15 HYPERLINK \l _bookmark18 2.2 主要表征方法 18 HYPERLINK \l _bookmark19 2.2.1 X 射线衍射(XRD) 18 HYPERLINK \l _bookmark20 2.2.2 扫描电子显微镜（SEM） 19 HYPERLINK \l _bookmark21 2.2.3 紫外-可见光分光度计 20 HYPERLINK \l _bookmark22 2.2.4 四探针法 21 HYPERLINK \l _bookmark23 2.3 本实验设备与样品制备概况 22 HYPERLINK \l _bookmark24 2.3.1 本实验设备概况 22 HYPERLINK \l _bookmark25 2.3.2 实验过程概况 23 HYPERLINK \l _bookmark26 第三章 AZO 薄膜测试结果与讨论 25 HYPERLINK \l _bookmark27 3.1 衬底温度对 AZO 薄膜性能的影响 25 I II II HYPERLINK \l _bookmark28 3.1.1 衬底温度对 ZAO 薄膜结构特性的影响 26 HYPERLINK \l _bookmark29 3.1.2 衬底温度对 AZO 薄膜光学性能的影响 29 HYPERLINK \l _bookmark30 3.1.3 衬底温度对 AZO 薄膜电学性能的影响 30 HYPERLINK \l _bookmark31 3.2 偏压对 AZO 薄膜性能的影响 31 HYPERLINK \l _bookmark32 3.2.1 偏压对 ZAO 薄膜结构特性的影响 31 HYPERLINK \l _bookmark33 3.2.2 偏压对 AZO 薄膜光电性能的影响 34 HYPERLINK \l _bookmark34 3.3 热处理工艺对薄膜相结构和表面形貌的影响 36 HYPERLINK \l _bookmark