磁声表面波磁场传感器及其制备方法-材料科学与工程专业论文.docx

万方数据 万方数据 目 录 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他 人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构 的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均 已在论文中作了明确的说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 III 万方数据 万方数据 摘 要 摘 要 磁场探测和感知在生产生活和国防安全方面有着重要的意义。本论文针对新 进出现的、基于磁电复合材料的弱磁场传感器的瓶颈问题，研究一种基于声表面 波技术的磁声表面波传感器(magnetic surface acoustic wave, MSAW)，该传感器由 ZnO 压电薄膜、FeSiBC 非晶软磁薄膜和叉指换能器组成。ZnO 薄膜的优点是高 度Ｃ轴取向、高电阻率、低表面粗糙度，FeSiBC 薄膜则具有单轴各向异性、磁致 伸缩效应和巨杨氏模量效应，两者相结合将能够实现磁传感器微型化、易集成、 宽频探测和高灵敏度的目的。论文的主要研究内容包括： 一、采用 RF 磁控溅射方法在 Pt/Ti/SiO2/Si 基片上沉积了 ZnO 压电薄膜，研 究了溅射气压、氩氧比、基片温度、溅射功率和退火工艺对 ZnO 薄膜结晶结构、 电学性能和表面形貌的影响，找到了最佳的制备工艺条件。制备并获得了高质量 的 ZnO 薄膜，其（002）峰的摇摆曲线 FWHM 为 4.185deg，电阻率109Ω·cm， 表面粗糙度10nm，满足了 MSAW 器件的综合要求。 二、采用 DC 磁控溅射方法在玻璃基片上沉积了 FeSiBC 非晶软磁薄膜，研 究了氩气气压、溅射功率、薄膜厚度对 FeSiBC 薄膜矫顽力、剩磁比、单轴各向 异性和磁致伸缩系数等性能的影响。针对 MSAW 对薄膜厚度的要求，进一步尝 试了一方面在 FeSiBC 薄膜中间隔地插入 Cu 层制备夹心薄膜结构，另一方面对薄 膜进行磁场退火，结果发现，夹心薄膜结构能有效改善厚膜的软磁性能，而磁场 退火的作用不大。 三、理论分析了双端声表面波谐振器（SAWR）的结构参数，在此基础上， 采用剥离方法在ZnO薄膜表面制备了波长λ=8μm，中心频率f0=343MHz的SAWR， 并通过COMSOL Multiphysics软件仿真获得谐振频率、形变位移、品质因素等参 数，探索了孔径对SAWR性能的影响。 四、最后，采用牺牲层工艺对 ZnO 层和 FeSiBC 层进行了集成，初步制备了 磁声表面波磁场传感器。 关键词：压电薄膜 磁致伸缩薄膜 声表面波谐振器 多物理场仿真 I ABSTRACT ABSTRACT Magnetic filed detection is very important to our daily life, industry and national defense. In the thesis, magnetic surface acoustic wave sensor (MSAW) has been studied and fabricated in order to overcome the intrinsic difficulties in the emerging magnetic field sensor based magnetoelectric effect. The MSAW consists of a piezoelectric ZnO thin film, a magnetostrictive FeSiBC thin film and the interdigital electrodes. The ZnO thin film has the advantage of excellent c-axis oriented, high resistivity and low roughness. The magnetostrictive FeSiBC thin film with uniaxial anisotropy has the giant Youngs modulus effect. Therefore, all of these allow u