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大应变传感器的设计、制备及特性研究-光学工程专业论文.docx

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大应变传感器的设计、制备及特性研究-光学工程专业论文

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方 外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 作者签名: 日期: 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘, 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在解密后应遵守此规定) 作者签名: 导师签名: 日期: 年 月 日 摘要 摘要 I I 摘 要 应变作为结构安全评估最为重要的参数之一,反映了系统结构的固有特征。 在某些特定的具有大应变甚至超大应变特征的结构检测中,常规的应变检测手段 已不能满足要求,因此亟待开发精度高、重复性和稳定性好的小型化大应变传感 器。本论文针对某系统蒙皮材料大应变检测的应用要求,基于不同的大应变检测 原理,设计并制备了变面积型电容式、莫尔条纹光栅式和复合材料电阻式等不同 结构大应变传感器,并进行了信号读出电路的设计与仿真研究;创新性地将抽拉 式结构与电阻检测方法结合,研制出满足应用需求的滑道电阻式大应变传感器。 其主要内容归纳如下: 1. 基于变面积型电容传感器的基本原理,分别以氧化铝陶瓷和铬-金合金为电 容极板和电极材料,设计制备了抽拉式单/双电容结构的小型大应变传感器(外形 尺寸 25mm×15mm×15mm),测试并比较分析了其大应变敏感特性。采用有限元分 析方法对电容极板宽度和间距等结构参数对大应变特性的影响规律进行了仿真研 究,结果表明极板宽度越大,间距越小,器件灵敏度越高。单电容大应变传感器 特性测试结果表明: 该传感器在 0-0.2 ε 大应变范围内具有良 好的线性特性 (1.60%FS)和重复性(0.89%FS),同时灵敏度较高(19.06V/ε),迟滞较小 (1.17%FS),但分辨率未能满足优于 0.5%FS 的要求。在此基础上,首次设计了 两对定极板和动极板对称的双电容结构大应变传感器,增加了结构稳定性,补偿 了环境应力所造成的误差,同时双电容结构和云母介质增加了传感器的初始电容 值;采用差分方法设计了信号读出电路,提高了电路测量精度,并抵消了被测电 容的零位电容和杂散电容影响。结果表明,其线性度(0.68%FS)、灵敏度(20.39V/ε)、 重复性(0.17%FS)和迟滞(0.27%FS)等特性参数均优于单电容结构,同时分辨 率满足应用要求;但该传感器零点存在温漂问题,这是因为环境温度对电容结构 和介质介电常数均有一定的影响作用。 2. 基于莫尔条纹测量位移的基本原理,初步设计并制备了抽拉式光栅大应变 传感器,并对其大应变特性进行了测试分析。从光栅莫尔条纹系统要求出发,以 SFH4680 型砷化镓近红外固体发光二极管为光源, M1045 型光电二极管阵列为光 电探测器;以裂相光栅为指示光栅,采用镀铬工艺,栅距 25 条线/mm,研究了传 感器的装配与调试工艺。采用差分放大电路、辨向电路和计数与显示电路组成传 感器信号读出电路;测试结果表明所制备的传感器可测量 0-0.2ε 的大应变,其脉 冲输出与大应变输入具有良好的线性特性(0.82%FS),灵敏度高(627 脉冲数/ε), II II 迟滞较小(0.80%FS),但重复性较差(1.94% FS),且分辨率不满足应用要求。 从结构设计、制备工艺和电路设计等方面对传感器特性进行了分析,并简要提出 了改进方法。 3. 采用物理共混工艺制备了聚合物/导电填料复合应变敏感材料,研究了材料 种类、复合比例等对复合材料大应变敏感特性的影响;运用扫描电镜(SEM)对 复合材料微观形貌进行了表征分析,并建立了敏感机理模型。测试结果表明室温 硫化硅橡胶/炭黑和聚二甲基硅氧烷(PDMS)/多壁碳纳米管(MWNTs)复合敏感 材料均能实现 0-0.2ε 大应变的测量;当炭黑纳米颗粒体积分数为 30%时,复合材 料传感器显示出最好的线性特性(R2 值为 0.9735)和最大的灵敏度(应变系数为 2.9 ), 从 导 电 通 路 理 论 角 度 出 发 建 立 了 “ 聚 集 体 - 链 条 ” 应 变 敏 感 模 型 。 PDMS/MWNTs 复合材料中 MWNTs 填充量为 9wt%时表现出最优的大应变特性(R2 值为 0.9982,应变系数 3.1),基于隧道理论建立了该传感器的敏感模型。初步探 索了 MWNTs 和石墨填充

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