磁栅位移传感器的研究-机械设计及理论专业论文.docxVIP

Classified Index：TP212 U.D.C.: 621 Dissertation for the Master Degree in Engineering RESEARCH OF MAGNETIC GRID POSITION TRANSDUCER Candidate： Wang Xiuwen Supervisor： Prof. Hao Minghui Academic Degree Applied for： Master of Engineering Specialty： Mechanical Design and Theory Affiliation: School of Mechatronics Eng. Date of Defence： July, 2007 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 - - I - 摘要 随着我国工业自动化的发展，测量技术的不断提高，市场对磁栅尺的需 求量也越来越大。目前磁栅的应用十分广泛，涉及到冶金、机械、石化、 运输、水利等行业，但是我国的磁栅尺产业化程度较低，相关产品的性价 比差，远远不能满足市场的需求。这主要是由于国外相关产品精度高品种齐 全，并对关键技术的封锁，加上国内对磁栅尺的研究还处于传统的结构，使 精度很难提高，致使国内的磁栅需求量绝大部分靠进口。 因此，本文采用新型的磁栅结构所设计的磁栅位移传感器，对其进行了 深入研究，目的是研制出高性价比、小型化、低成本、高精度、易于产业推 广的绝对式磁栅位移传感器。本文提出新型的磁栅、磁头结构；为提高原始 电压信号的质量，本文采用三相六元件的信号发生方案，通过差分处理滤除 了由于装配偏差和零点漂移带来的信号误差；并对磁栅信号发生结构进行了 ANSYS 有限元电磁场分析，依据磁场分析的结论选择磁头安装间隙，进一 步提高了信号质量，此结构不仅满足了本课题的需要，而且为今后研制绝对 式磁栅位移传感器奠定了理论基础。在磁栅的信号处理方面，文中选择了基 于查表方式的信号处理算法，降低了处理芯片的运算量，并通过对高性能的 16 位嵌入式单片机 dsPIC33FJ64MC706 的开发实现了此算法。由于该款单 片机的应用，不仅简化了信号处理硬件的外围电路，满足了磁栅小型化的设 计要求，而且实现了磁栅高速的运算能力和实时的信号处理功能，提高了磁 栅的分辨率和工作可靠性。 本文将课题研制的磁栅位移传感 器样品与现有分辨率为 0.5μm 的 Renishaw 光栅尺的输出信号进行了比较试验，试验结果表明本课题所研制 的磁栅位移传感器的输出信号分辨率达到了 0.85μm。 关键词 磁栅；磁场分析；嵌入式单片机；永磁体 - - II - Abstract With the development of industrial automation, measuring technique improving constantly,the quantity demanded of magnescale becomes greater and greater on the market. At present, magnescale application is very broad, deal with industry such asmetallurgy, machinery, petroleum and chemical, transportation, water conservancy. But the domestic industrialization of magnescale is immature, and the correlative products are low performance, which far from to meet the requirement of market. The main cause is abroad correlative products have the high accuracy and have great variety of goods,and also blockage to the key technology. Adding the structure being in tradition in the homeland to magnescale research, it makes magnescale of accuracy very difficult to improve, and causes the