等离子喷涂Al2O3掺杂ZnO溅射靶材的研究-材料学专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 Dissertation Submitted to Hebei University of Technology for The Master Degree of Materialogy STUDY ON THE Al2O3 DOPED ZnO SPUTTERING TARGET PREPARED BY PLASMA SPRAY by Zhao Yanming Supervisor: Prof. Zhang Jianxin March 2014 原创性声明 本人郑重声明 :所呈交的学位论文，是本人在导师指导下，进行研究工作所取得的 成果。除文中已经注明引用的内容外，本学位论文不包含任何他人或集体已经发表的作 品内容，也不包含本人为获得其他学位而使用过的材料。对本论文所涉及的研究工作做 出贡献的其他个人或集体，均己在文中以明确方式标明。本学位论文原创性声明的法律 责任由本人承担。 学位论文作者签名 :毛台词 日期:)，，0收$ .切 关于学位论文版权使用授权的说明 本人完全了解河北工业大学关于收集、保存、使用学位论文的以下规定 : 学校有权 采用影印、缩印、扫描、数字化或其它手段保存论文 ; 学校有权提供本学位论文全文或 者部分内容的阅览服务;学校有权将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索、交流;学校有权向国家有关部门或者机构送交论文的复印件和电子版。 (保密的学位论文在解密后适用本授权说明) 学位论文作者签名:也在吨 导师签名:张凌务 日期: 守们铲- 3 、TO 日期: 2-OJL仕 3.20 摘 要 掺铝氧化锌（AZO）除具有与掺锡氧化铟（ITO）相比拟的优良的光学、电学性 能外，还具有原材料储量丰富、价格便宜以及在氢等离子体中稳定性更高等优点，因 此越来越受到广泛的关注。 本文通过固相法制备 AZO 粉体，并研究了不同掺杂量、煅烧温度和保温时间等 工艺参数对制备的粉体相组成的影响。此外，利用等离子喷涂技术制备了 AZO 涂层， 还以涂层的孔隙率和电阻率作为涂层质量的评判标准，对喷涂功率、枪距和氩气流量 等影响涂层质量的喷涂工艺因素进行了正交实验设计，得出了等离子喷涂法制备 AZO 涂层的最优工艺方案。最后，利用微米粉体和纳米粉体分别制备了两种涂层，利用 XRD、SEM 对两种涂层的组织结构进行了表征，利用 XPS 对涂层所含元素的化合价 态进行了分析，并对两涂层的孔隙率和电阻率进行了计算和测量。得出以下主要结论： 固相法制备的 AZO 粉体中除含有 ZnO 相外，还含有微量 ZnAl2O4 杂质相；且当 掺杂量为 2.0%，煅烧温度为 1100℃，保温时间为 120min 时制备的 AZO 粉体中杂质 相 ZnAl2O4 的含量最小。 通过正交实验优化了等离子喷法制备 AZO 涂层的最佳制备工艺方案。通过实验 分析，当枪距为 80mm，喷涂功率为 38kW，氩气流量为 2800L/h 时制备的涂层具有 更小的孔隙率和电阻率。 采用等离子喷涂技术，分别利用以微米粉为原料制备出的 AZO 喂料和以纳米粉 为原料制备出的 AZO 喂料制备出了两种涂层。经测量，以纳米粉为原料制备的 AZO 涂层的孔隙率和电阻率明显小于以微米为原料制备出的 AZO 涂层的孔隙率和电阻率， 其平均孔隙率分别为 4.19%和 15.02%，平均电阻率分别为 0.78Ω·cm 和 88.4Ω·cm。 通过对涂层进行 XPS 分析，确定两种涂层中 Al、Zn 分别呈+3 和+2 价，其中都 存在由 Al 离子替位 Zn 离子而产生的 Al-O 键。 关键词：AZO 粉体，等离子喷涂，AZO 涂层，XPS I ABSTRACT Aluminum-doped zinc oxide（AZO）has increasingly received widespread attention, not only their excellent optical and electrical properties just like Tin-doped indium oxide, but also their abundant raw materials, lower prices and higher stability in a hydrogen plasma. In this paper, the AZO powder was prepared by solid-phase method. The influence of different process parameters on phase composition of the powder was studied, such as the doping content,