等离子体发射光谱研究-材料学专业论文.docxVIP

A Thesis Submitted in Fulfillment of the Requirements for the Degree of Master of Engineering Diagnosis of the Emission Spectroscopy of Plasma Major ：Material Science Candidate ：Weng Guo-feng Supervisor ：Professor Ma Zhi-bin Wuhan Institute of Technology Wuhan, Hubei 430074, P. R. China April, 2012 摘 摘 要 武汉工程大学硕士学位论文 武汉工程大学硕士学位论文 I I PAGE PAGE IV 摘 要 等离子体发射光谱是探究等离子体参数、等离子体基团分布的有效 工具。本文利用发射光谱技术对压缩波导微波氢等离子体进行原位在线 测量，研究了在微波等离子体化学气相沉积金刚石过程中等离子体内部 基团、等离子体参数、等离子体内部粒子的物理化学过程及其与等离子 体工艺的联系。同时，本文还利用发射光谱技术研究了熏蒸罐中溴甲烷 浓度与等离子体发射光谱强度的关系，为利用光谱技术进行溴甲烷浓度 的定量测量提供了实验基础。 （1）在连续的高气压（5 kPa~一个大气压）下，利用发射光谱诊断 法对压缩波导微波氢等离子体进行发射光谱测量，研究了氢原子 Balmer 线系 Hα、Hβ、Hγ 和 Hδ 谱线强度随着气压升高的变化以及等离子体电子 激发温度随着气压升高的变化。结果表明：在微波功率为 800W 时，压 缩波导微波氢等离子体中氢原子 Balmer 线系 Hα、Hβ、Hγ 和 Hδ 谱线强度 在 20kPa 达到最大值，气压超过 20kPa，Hα 和 Hβ 谱线的谱峰强度呈现快 速下降的趋势，氢等离子体的电子激发温度随着气压的升高先下降后趋 于稳定。 （2）在压缩波导微波等离子体 CVD 沉积金刚石过程中，利用发射 光谱技术诊断 CVD 等离子体的发射光谱，研究金刚石沉积过程的等离子 体内部基团及其随反应条件的变化，沿波导宽边与波导窄边对等离子体 球进行测量，研究等离子体球内基团和活性粒子的空间分布。结果表明： 利用 CH4/H2 作为工作气体的微波等离子体 CVD 沉积金刚石过程中，等 离子体中含有多种活性粒子和基团，观测到了 H 原子 Balmer 线系的 Hα(656.30nm)、Hβ(486.25nm)和 Hγ(434.56nm)，H 分子 Fulcher-α(d3Πu—a3Πg) 谱带，CH C2ΔΣ+—X2Π、B2Σ—X2Π 和 A2Δ—X2Π 谱带，C2 Swan 带系、 + 1 + ’ C2 Mulliken (d1Σu —x Σg ) 谱 带 以 及 C2 Deslandres-D Azambuja u(C1Πg—b1Π + u )谱带，其中 C2 基团随甲烷浓度的升高迅速上升，金刚石膜 的质量随着甲烷浓度的升高而降低。等离子体球沿波导宽边方向的等离 子体强度从中心向两边递减；沿波导窄边方向的等离子体强度由下往上 递减，含碳基团的浓度则是中心比两边高。 （3）设计了一套脉冲射频空心阴极等离子体源，将该等离子体源激 发熏蒸罐中含溴甲烷的工作气体放电产生等离子体，利用发射光谱法对 产生的等离子体进行测量，研究工作气压和溴甲烷浓度对溴原子特征峰 强度的影响。结果表明：在含溴甲烷的等离子体发射光谱图中发现了位 于 635.07nm 和 700.52nm 的溴原子特征峰。在气压不变的情况下，发射 光谱图中溴原子的特征峰强度随溴甲烷浓度的升高而升高，在溴甲烷浓 度不变的情况下，发射光谱图中溴原子的特征峰强度随熏蒸罐气压的升 高而降低。溴原子特征峰强度随气压和溴甲烷浓度的变化规律可以用于 熏蒸罐内溴甲烷浓度的测量。 关键字：氢等离子体；CVD 沉积金刚石膜；发射光谱；溴甲烷；诊断 Abstract Abstract 武汉工程大学硕士学位论文 武汉工程大学硕士学位论文 III III PAGE PAGE IV Abstract The research of the plasma parameters during microwave plasma CVD of diamond is very important for preparation of high quality diamond film. In this paper, optical emission spectroscopy has been used to measure the compressed waveguide microwave hydrog