硅基！#高速电光调制器研究进展.PDFVIP

前沿进展 硅基!# 高速电光调制器研究进展 4 屠晓光 ! ! 陈少武! ! 余金中 （中国科学院半导体研究所 集成光电子国家重点实验室! 北京! 5%%%6 ） 摘! 要! ! 硅基高速电光调制器是新一代密集波分复用系统和光时分复用系统中的关键光电子器件，他的运用可 以降低光通讯系统的制作成本并且大大有利于未来的硅基光电集成- 目前国际上已经实现的硅基高速电光调制器 件的调制速率已经超过789- 文章对国外硅基高速电光调制器的最新研究进展进行了介绍，评述了各种基于不同 电学和光学结构的硅基电光调制器，对不同类型器件在制作和应用中的优缺点进行了比较- 关键词! ! 硅基光子集成，电光调制器，*:0:3 结构，;=