高g值硅微加速度计的结构设计与分析-机械电子工程专业论文.docxVIP

碳士论文 碳士论文 高g值硅微加速度计的结构设计与分析 摘 要 《高g值硅微加速度计的结构设计与分析》属于现代微机电系统设计理论和 设计方法应用技术研究领域，课题源于国防科工委MEMS高过载传感器在引信 中的应用研究。 本文在对各种硅微传感器特点进行比较的基础上，选择了适用于高冲击环 境，有较高抗过载性能的电容式硅微加速度传感器作为研究对象。对其工作原理 和数学模型进行了阐述和研究。 在详细阐述了电容式加速度计工作原理的基础上，选择扭摆式加速度传感器 作为设计对象，根据高g值加速度计的性能要求，设计计算了加速度计的结构尺 寸，并对结构尺寸对其性能的影响进行了分析。找到了影响高g值加速度计性能 的关键尺寸因素，例如支承轴宽度和长度尺寸。 使用有限元方法，对计算得到的高g值加速度计结构进行了静力学和动力学 仿真，以验证该结构的抗高过载能力、在高g值环境下结构的应力分布情况，验 证结构的谐振频率和对高冲击信号的响应情况：同时使用ANSYS的压膜阻尼分 析功能，对扭摆式高g值加速度计中的压膜阻尼进行了分析计算，得到一套计算 压膜阻尼的方法，根据计算结果，发现在扭摆式高g值电容加速度计中压膜阻尼 对结构影响甚微，可以忽略。 确定加速度计结构尺寸以后，采用MEMS专业软件MEMS Pr04．0进行了版 图设计，制定了适用于高g值加速度计的加工工艺流程。对加工出来的硅微加速 度计进行了高冲击下的试验测试，得到了正确的响应曲线，进一步验证其性能。 实验表明，设计和加工好的高g值硅微加速度传计基本达到引信使用环境要 求。通过对硅徽加速度传感器的结构设计和分析，掌握了硅微机构设计的基本步 骤和方法，对今后将微结构应用于引信安全机构上奠定了基础。 关键词： 微机械，高g值电容加速度计，MEMS 硕士论文 硕士论文 高g值硅微加速度计的结构设计与分析 Abstract The structure design of micro silicon high g accelerometer belongs to the study field of modem micro electromeehnic design theory．It。s main part of National Defense Arming Pre—researching Project-high g accelerometer used in fuze． In the dissertation，series types of accelerometer are compared and capacitance accelerometer whieh Call be used in heavy shock environment is chosed to be studied．Its principle and mathmatics modal are discussed． After the accelerometer’S theory is expounded，a wrest capacitance accelerometer is design according to the requirement．Structure parameters are studied and the ones which have a strange effect on the accelerometer’S performance are found．such髂the length and width ofthe bearing axis． Finite element method is used to simulate the high g aceelerometer’S behavior, both static and dynamic，to validate the strtlcture’S abil畸of surviving under over loading，lay out the distributing of stress，calculate the frequency and lay out the response to a heavy shock．Besides，ANSYS is used to canculate the squeeze film damping．According to the results，it is found that in the wrest capacitance accelerometer squeeze film is very small and can be ignored． After the structure is