高g值条件下MEMS微构件动态特性测试装置的研制-微机电工程专业论文.docxVIP

大连理工大学硕士学位论文摘 大连理工大学硕士学位论文 摘 要 基于微加工技术制造的高g值加速度传感器等微惯性器件，广泛地应用在航空航天 领域、汽车气囊以及导弹和智能化炮弹的精确控制上，主要用于高速运行的载体在启动 和运行过程中速度变化的测量与控制。微惯性器件主要通过微构件的微小位移或变形来 实现测量功能，其微构件的振型和谐振频率等动态特性在很大程度上决定了器件性能。 研制开发微构件在高g值条件下动态特性的实验测试装置，对测试微构件动态特性及其 随加速度条件变化规律的研究，有着重要意义． 开发了基于高速离心法的高g值条件下MEMS微构件动态特性测试装置。完成了 包括电主轴单元、转盘单元、转盘振动状态监测与分析单元、数据采集与传输单元以及 计算机控制单元等部分的装置方案设计。设计了搭载测试微构件的高速离心转盘部件及 其电主轴驱动单元，通过有限元分析软件ANSYS分析了离心转盘在高速旋转时的应力 分布、变形位移，并对转盘的临界转速和振动模态进行了分析。研究了驱动单元中电主 轴电机选用及其变频调速技术，对变频调速中存在的转差率问题及其在微构件动态测试 中的补偿方法进行了实验研究。设计了测试装置数据采集存储与传输单元，编写了数据 采集单片机的上位机软件，很好的完成了测试实验数据的采集、存储与传输。建立了装 置离心转盘振动状态监测与分析单元，搭建了监测信号的检测、采集与分析的硬件平台， 完成了信号监测和分析软件模块的编写，对离心转盘在600．7200rpm转速范围内的工作 特性进行了实验研究。开发了基于虚拟仪器编程语言LabVIEW的测试装置软件，实现 了对MEMS微构件动态特性的自动测试及测试装置的运行控制与状态监测。 研制的测试装置为高g值条件下微构件动态特性的测试提供了一种有效的手段，同 时对高过载条件下微惯性器件微构件的动态特性测试技术进行了初步的研究。 关键词：高g值；MEMS；微构件；动态测试 Dynamic Dynamic characteristic Testing Equipment for Microstructure ofMEMS Device under High g Force Acceleration Abstract MEMs device such as Micro-inertial device manufactured by micro fabrication techniques implements its measaremcut funetion by the mioro displacement Or deformation of the microstructure．and thus the performance a托decided to a large extent by the dynamic charaeteristies such as vibration mode and ltsonance frequencies．Thc development of the dynamic testing devices has practical significance in dynamic measurement under higll load and the study ofdynamic characteristics ofmicrostrueture with different high G environment． The design of the equipment including electric spindle unit,rotation plate unit,state of rotation plate detecting and analyzing anit,data acquisition and transfer unit and computer controlling unit ete has been finished．High speed centrifugal rotation plate which is used to carry testing microstrueture and its electric spindle driving unit has been designed．Thc stress distributing and the distortion displacements in a high g-force acceleration environment have been analyzed by the software ANSYS and the critical rotate speed and the q