高Q值MgTiO3基微波介质陶瓷的制备及改性研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

sintering aids - - i - 目录 第一章 绪论1 1.1 微波材料与微波通信 1 1.2 微波介质陶瓷材料介电性能参数及影响因素 2 1.2.1 微波介质陶瓷材料介电特性3 1.2.2 微波介质陶瓷材料介电性能的影响因素8 1.3 微波介质陶瓷材料的分类及应用 9 1.3.1 微波介质陶瓷材料的分类10 1.3.2 微波介质陶瓷材料的应用11 1.4 MgTiO3 基微波介质陶瓷材料的研究现状 12 1.5 研究目的、意义及主要内容 14 第二章 微波介质陶瓷材料制备及表征方法 15 2.1 MgTiO3 基微波介质陶瓷材料制备工艺 15 2.1.1 实验原料与仪器设备15 2.1.2 实验工艺流程16 2.2 材料微结构及物相分析 18 2.2.1 密度测试18 2.2.2 微观形貌及化学成分分析18 2.2.3 晶体结构分析19 2.3 材料微波介电性能测试 19 2.3.1 介电常数测试方法20 2.3.2 品质因数测试方法21 2.3.3 谐振频率温度系数测试方法23 第三章 MgTiO3 基微波介质陶瓷材料改性研究 24 HYPERLINK \l _TOC_250007 3.1 ZnO 过量取代对 MgTiO3 烧结与介电性能的影响 24 3.1.1 引言24 3.1.2 样品制备24 HYPERLINK \l _TOC_250006 3.1.3 过量 Zn 离子对 MgTiO3 烧结特性及晶体结构的影响 24 HYPERLINK \l _TOC_250005 3.1.4 过量 Zn 离子对 MgTiO3 介电性能的影响 28 3.2 CaTiO3 掺杂对 Mg0.97Zn0.03+xTiO3+x 的影响 31 HYPERLINK \l _TOC_250004 3.2.1 CaTiO3 掺杂工艺流程 32 3.2.2 CaTiO3 掺杂对 Mg0.97Zn0.03+xTiO3+x 介电性能的影响 32 3.3 本章小结 35 第四章 LaAlO3 掺杂对 95MCT 烧结与介电性能的影响 37 4.1 引言 37 4.2 样品制备 37 HYPERLINK \l _TOC_250003 4.3 LaAlO3 掺杂对 95MCT 的影响 38 HYPERLINK \l _TOC_250002 4.3.1 LaAlO3 掺杂对 95MCT 晶体结构的影响 38 HYPERLINK \l _TOC_250001 4.3.2 LaAlO3 掺杂对 95MCT 介电性能的影响 40 4.4 本章小结 43 第五章 烧结助剂 B2O3 对 95MCT-1.0mol% LaAlO3 的影响 44 5.1 引言 44 5.2 样品制备 44 HYPERLINK \l _TOC_250000 5.3 烧结助剂 B2O3 对 95MCT-1.0mol% LaAlO3 的影响 44 - - ii - 5.3.1 烧结助剂 B2O3 对 95MCT-1.0mol% LaAlO3 晶体结构的影响..44 5.3.2 烧结助剂 B2O3 对 95MCT-1.0mol% LaAlO3 烧结温度的影响..46 5.3.3 烧结助剂 B2O3 对 95MCT-1.0mol% LaAlO3 介电性能的影响..48 5.4 本章小结 51 第六章 结论52 参考文献54 发表论文和科研情况说明60 一、发表论文 60 二、申请专利 61 三、科研项目 61 致谢62 第一章 第一章 绪论 - - PAGE 10 - 第一章 绪论 1.1 微波材料与微波通信 频率在 300MHz~300GHz 之间、波长为 λ = 1m~1mm 的电磁波为微波。按照 波长长短可以把微波频率划分为毫米、厘米、分米波。我们经常使用一些常用符 号来表示部分波段，符号与波段对应关系如表 1-1 所示。 表 1-1 微波不同波段的频率与波长范围 波段代号 标称波长 （cm） 频率范围 （GHz） 波长范围 （cm） L 22 1-2 30-15 S 10 2-4 15-7.5 C 5 4-8 7.5-3.75 X 3 8-12 3.75-2.5 Ku 2 12-18 2.5-1.67 K 1.25 18-27 1.67-1.11 Ka 0.8 27-40 1.11-0.75 微波通信技术指的就是将信号利用微波作为载体来进行传输的一种综合技 术。其中，L 以下波段，即频率小于 1GHz 的频率波段，通常应用于移动通信。 从 S 到 Ku 频段应用于地球表面基地通信，其中，C 频段的应用最为普遍。60GHz 频率的电磁波在大气中衰减很大，通常应用于近距保密通信；而 9