扩散C时T炉子.pptVIP

培训内容 1、开机操作 2、生产操作 3、关机操作 1、开机操作 1.1、打开气柜压缩空气的手动阀并调节调压阀使其压力在6Bar左右。 1.2、打开气柜氮气和氧气手动阀，并调节调压阀使其压力在2Bar左右。 1.3、打开电气柜上的“Main Switch”在“ON”位置，设备上电；CMI电脑自动启动。 1.4、打开设备冷却水，先开出水阀，再开进水阀。检查水压在3-6kg /cm2 范围内。 1.5、输入XP操作系统用户“Operator”密码“？”，进入CMI计算机的XP系统，自动启动CMI软件。 1.6、检查并打开气柜上1-4管“CESAR”的开关，启动“CESAR”系统 1.7、 设定各管“Paddle”温度为默认值，按下：“Manual/T_Paddle/All/Setpoint/Default” 。 1.8、设定升温速度为5℃/min，按下：“Manual/T_Paddle/All/RampPos”，输入“5”，并按确认键“ENTER”。 1.9、当温度到达500℃时，用手推动炉门的气缸，使炉门关闭。 1.10、顺时针打开TGA上部调压阀，使压缩空气压力恢复到4Bar左右。 1.11、打开恒温箱控制器的黑色电源开关，检查并确认设定温度20℃；按下“RUN”按钮，启动恒温箱。当实际温度达到设定温度后，才可生产。 1.12、当源瓶的磷源用尽需要