基于AAOPTFE复合薄膜封装湿度传感器应用.PDFVIP

包 装 工 程 第 37 卷 第 11 期 ·64 · PACKAGING ENGINEERING 2016 年 6 月 包装技术与工艺 基于 AAO/PTFE 复合薄膜封装的湿度传感器应用 马晶晶 1 ，欧文 1 ，罗九斌 1 ，吴健 1 ，刘东 2 （1.江苏物联网研究发展中心，无锡 214135 ；2.上海三一重机股份有限公司，上海 201413 ） 摘要： 目的 研究多孔阳极氧化铝/聚四氟乙烯（AAO/PTFE ）复合薄膜应用于湿度传感器封装窗口 的水蒸气输运特性和抗污染能力。方法 通过旋涂法在双通阳极氧化铝薄膜上制备 PTFE 微孔膜， 将该复合薄膜用作湿度传感器的封装窗口，在定温变湿的环境和油漆喷涂房中分析相对湿度测量的 静态误差和动态响应，研究 AAO/PTFE 复合薄膜对传感器测量的影响和保护功能，并将其与 PTFE 和 PVDF 滤膜进行对比。结果 定温变湿环境下静态和动态的测量结果表明，AAO/PTFE 复合薄膜 对湿度传感器造成的测量误差最大可达 15%，且误差曲线可以分为 30%~50%的低相对湿度区间、 50%~80%的中相对湿度区间和大于 80%的高相对湿度区间。静态测量的差异是由不同相对湿度区 间 内试验箱中空气流动速率不同造成的，而动态响应的差异主要源于不同区间内管壳内、外的相对 湿度差不同。结论 PTFE 薄膜的涂覆不仅保留了 AAO 滤膜优异的水蒸气输运性能，还有效提高了 其表面抗污染能力。 关键词： 多孔阳极氧化铝；聚四氟乙烯；复合薄膜；水蒸气输运；抗漆雾污染 中图分类号：TB43 文献标识码：A 文章编号：1001-3563(2016) 11-0064-07 Application Research of AAO/PTFE Composite Membrane Encapsulated Humidity Sensor 1 1 1 1 2 MA Jing-jing , OU Wen , LUO Jiu-bin , WU Jian , LIU Dong (1.Jiangsu RD Center for Internet of Things, Wuxi 214135, China; 2.Shanghai SANY Heavy Machinery Co., Ltd., Shanghai 201413, China) ABSTRACT: The vapor transportation properties and surface anti-pollution abilities of AAO/PTFE composite membrane encapsulated humidity sensor were researched. PTFE thin films with porous structures were prepared on the bi-pass AAO template using spin coating method, and used on the package windows of the humidity sensor. The static error and dy- namic response were studied to evaluate the influence and protective effect of the AAO/PTFE composite membrane on the sensors in e