电感式微位移传感器.doc

PAGE PAGE 1 PAGE 1 《传感器原理及应用》课程 考 核 论 文 题 目 电感式微位移传感器分析及应用实例 班 级 学 号 姓 名 成 绩 机械与汽车工程学院 机械电子工程系 二零一四 年 五 月 目 录 摘要 2 引言 2 一、电感式传感器组成及原理 3 二、电感测头的结构 11 三、差动变压器应用 11 四、电感式微位移传感器应用实例 12 参考文献 23 电感式微位移传感器分析及应用实例 摘要：随着现代制造业的规模逐渐扩大，自动化程度愈来愈高。要保证产品质量，对产品的检测和质量管理都提出了更高的要求。电感式微位移传感器是一种分辨率极高、工作可靠、使用寿命很长的测量仪器,应用于微位移测量已有比较长的历史.?本文主要对电感式微位移传感器进行了系统性分析，阐述了其物理效应、构成、结构、测量电路、显示装置等基本内容，并在网上对此传感器进行了选型，结合其产品手册/使用说明书，详细说明了此传感器的用法，并进行了举例说明。 关键词:?电感式传感器，相敏检波，零点残余电压 Abstract:With modern manufacturing scale expands gradually, more and more high degree of automation. To ensure the quality of product, the product testing and quality management are put forward higher requirements. Inductive micrometer is a kind of extremely high resolution, reliable operation, long service life measuring instrument, used in the micro displacement measurement has a long history. This article mainly has carried on the systematic analysis to inductance displacement of weak, expounds the physical effect, composition, structure, measuring circuit, display device, the basic content, and for the selection of this sensor on the net, combined with its product manuals operating instructions, detailed the use of the sensor, and an example was carried out. Key words: Inductive sensor, phase sensitive detection, zero residual voltage 引言 电感式微位移传感器又称电感式测微仪是一种能够测量微小尺寸变化的精密测量仪器，它由主体和测头两部分组成，配上相应的测量装置（例如测量台架等），能够完成各种精密测量。例如，检查工件的厚度、内径、外径、椭圆度、平行度、直线度、径向跳动等，被广泛应用于精密机械制造业、晶体管和集成电路制造业以及国防、科研、计量部门的精密长度测量。主要的技术指标为⑴测量范围：0~±