微机电系统黏着现象之接触力学碎形分析与试验验证.PDF

微機電系統黏著現象之接觸力學碎形分析與實驗驗證 1 2 3 洪政豪 杜德泉 戴毅明 1 國立虎尾科技大學動力機械工程系副教授 2 國立虎尾科技大學機械與機電工程研究所研究生 3 國立虎尾科技大學機械與機電工程研究所研究生 計畫編號 :TCS017 方急遽減少，而與表面積相關的表面力 中文摘要 (surface force) ，如摩擦力(friction force) 、黏 過去幾年由於微加工技術的長足進 附力 (adhesion force) 、凡得瓦爾力(van der 步，使得各種微機電系統有更多的功能與廣 Walls)卻只隨尺寸二次方縮小，故徹體力對 泛應用，就微元件而言，由於尺寸的縮小， 微元件的效應由主要效應轉為次要地位，以 使得元件表面力的重要性遠大於慣性力，造 致在微致動器的製造完成後，由於扭矩太小 成在製造或運轉過程中產生過量的黏附 與過大黏附力發生黏著(stiction) 以致無法運 力，以致相對運動面黏著無法運動，或過量 轉，或由於扭矩太小而黏附力略大造成磨擦 磨擦磨損，壽命縮短等現象，因此磨潤學中 (friction)或磨損 (wear)嚴重，在短時間運轉下 黏附與磨擦變成微機電與奈米機電元件失 即失效。因此本計畫擬以碎形理論為基礎， 效的最主要原因。 探討微元件表面性質與黏附力之相關性，以 本計畫利用碎形分析，推導在彈性、彈 提供降低黏著與磨擦、磨損，提昇整體運轉 塑性與塑性區之變形與黏附力公式，並結合 時間達到實用化技術的參考。 微接觸理論，建立包含黏附力之微接觸模 式，分析結果顯示在低 G 值、低負荷值與 文獻探討 高黏附功材料條件下，其黏附力對微元件的 黏附力在相對物件處於輕負荷、小尺寸 影響極為明顯，有時達到數十倍之多，故對 之光滑表面下特別重要，並且深受表面粗度 運動型微元件而言，極需慎選材料對或表面 之影響，黏附力大小更進而影響界面之磨擦 性質改善，以維持微元件之穩定運轉。本文 與磨損[1] 。黏附力的分析模式最知名為 亦完成表面黏附力與碎形參數 G 、D值之量 DMT模式 [2]與JKR模式 [3] 。DMT模式假設 測工作，可作為未來理論模式驗證的基礎。 表面吸引力來自接觸區外圍，且其拉起力 關鍵字：微機電系統，接觸力學，黏附力， (pull off force) 等於2 π乘以波峰半徑與黏附 磨擦，碎形參數 功(work of adhesion) ；JKR模式則認為拉起 力為3 π/2乘以波峰半徑與黏附功。而Muller 前言與研究目的 等人[4]的實驗則說明 DMT 與JKR模式為兩 微機電系統應用的研究領域，可大致分