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國 立 成 功 大 學
光 電 科 學 與 工 程 研 究 所
碩 士 論 文
氧化鋅摻雜氧化釩多層膜之結構與磁性研究
Structure and magnetic properties of
V2O5 doped ZnO thin film
研 究 生:詹博旭
指導教授:黃榮俊
中華民國九十五年十二月二十五日
摘要
本論文工作是使用離子束濺鍍系統成長[ZnO/V2O5]多層膜。實驗分成
兩部份。第一部份為改變 V2O5 摻雜厚度,第二部份是將多層膜作高真空
退火處理,研究多層膜電性及結構特性。
由 SQUID 量測多層膜特性,顯示樣品呈現鐵磁性,並隨退火溫度產
生不同的變化,[ZnO(20Å)/V2O5(1Å)]25 多層膜磁性隨退火溫度上升而變
強,[ZnO(20Å)/V 2O5(3Å)]25 多層膜磁性隨退火溫度上升而變弱,
[ZnO(20Å)/V2O5(2Å)]25 多層膜變化則介於兩者之間,磁性來源我們以磁
性極化子模型來解釋,發現氧空缺和薄膜磁性變化有著重要的關係。
I
Abstract
In this study ,we deposited [ZnO(20Å)/V2O5(xÅ)](x =1,3) films
on Al2O3(0001) substrate by an ion beam sputter. The structural,
electrical and magnetic properties of [ZnO/V2O5] films annealed at
200,400 and 600℃ have been investigated. The results of x-ray
diffraction reveal no detectable V clusters or formation of
secondary phases. The ferromagnetism of [ZnO(20Å)/ V2O5 (1Å)] films
increased as the annealing temperature was decreased. However, the
ferromagnetism of [ZnO(20Å)/V2O5(3Å)] films decreased as the
annealing temperature was increased. The results suggest that
ferromagnetism in [ZnO/ V2O5] comes from an intrinsic factor highly
correlated to the oxygen vacancy defects. The dopant V2O5 played
an important role effect defects in [ZnO/V2O5] films.
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