用！#法研究低！多孔！$%薄膜的隙态密度！.PDFVIP

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2018-12-30 发布于天津
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第卷第期年月物理学报 9 %$$9 9 ，，， 6R 7 [R 79 8E@5 %$$9 （） ’$$$*#%)$\%$$9\ $9 \%)#9*$ Z/SZ U;]+I/Z +I[I/Z %$$9 /P,@ 7 UPBN 7 +R2 7 用法研究低多孔：薄膜的隙态密度! !# ! !$% ’ 缑洁何志巍潘国辉王印月! （兰州大学物理系，兰州 #$$$$ ）（年月日收到；年月日收到修改稿） %$$ ’’ %( %$$ ’% ) 用溶胶凝胶法制备了低多孔：薄膜，用空间电荷限制电流法（）研究了多孔：薄膜中的隙态 * ! +,- . +/0/ +,- . % % ’ 4 # 4 ’ 密度以及掺量对隙态密度的影响，得到了平衡费米能级附近的隙态密度约为 · ，以及带隙中隙态 . 1 ’$ 23 56 随能量的分布7 并对造成隙态的主要原因也进行了讨论7 关键词：隙态密度，，多孔：，低 +/0/ +,- . ! % ：，，， () ’%$. %%$8 9’9$ :%(; ’G 引言 % G 实验为了适应H0+I 高速、高集成度发展，人们积极 * +* 样品制备及测量［— ］地寻找传统介质材料 +,- 的替代品’ : 7 多孔 % ［］［］ 9 用溶胶凝胶法（）制备样品多孔：：薄膜，兼具多孔及掺氟的优点，已获得了