真空感应CVICVD系统分布式自动化控制.pdf

真空感应CVI/CVD系统 分布式自动化控制技术研究 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 1 课题的提出及研究的意义 1.2 研究的意义 a. 真空感应CVI/CVD系统由于有中频电源和感应线圈干扰较强， 同时由于其作为在特种材料的制备设备需要温度、流量的精 确控制；另外需要控制的量又较多，因此对其的控制是近年 来真空界的热点。 b. 真空感应熔炼过程具有多输入、多输出、非线性，成分、温 度难以在线检测，并且坩埚内的反应复杂多变，难以建立精 确的数学模型。由于自动化水平低，基本上依靠人工经验进 行操作，产品质量不能保证稳定，这不但增加了生产成本和 工人的劳动强度，也存在因错误操作导致熔炼失败的风险。 c. 采用当今主流的集散控制系统和先进控制策略和算法,对提 高真空感应系统熔炼的稳定性，提高真空感应熔炼自动化水 平和产品质量有非常重要的现实意义。 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 2 课题的来源 被控对象 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 2 课题的来源 控制系统 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 3 具体内容 3.1 真空感应CVI/CVD控制方案的研究； 3.2 真空感应CVI/CVD控制系统通讯实验研究； 3.3 真空感应CVI/CVD控制系统上位机软件开发; 真空感应CVI/CVD控制系统下位机软件开发; 3.4 真空感应CVI/CVD控制系统测试与交付使用； Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 3.1 真空感应CVI/CVD系统控制方案 系统的操作工艺大体可分为3种： • 真空烧结炉工作：该工艺下要实现各种开关量的精确操作，自动的进料、 出料，真空度的在线检测、烧结温度的测控，可以使用任意一套真空机组 ；首先机械旋片泵开启对烧结炉预抽真空，真空度达到要求后开启罗茨泵 再进一步抽气。 • 真空沉积炉工作：该工艺下要实现各种开关量的精确操作，自动的进料、 出料，真空度的在线检测、烧结温度的测控，对6路气体流量的测量与控制 ，可以使用任意一套真空机组；首先机械选片泵开启对烧结炉预抽真空， 真空度达到要求后开启罗茨泵再进一步抽气。 • 真空烧结炉和沉积炉同时工作：各种开关量的精确操作，2套真空机组可以 同时工作也可以分别开启，全程的温度、流量测控，真空度的在线监测， 物料的自动进退等。 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 3.1 真空感应CVI/CVD系统控制方案 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 3.1真空感应CVI/CVD控制系统控制方案 工控机 适配器 电平转换器 适配器 适配器 温控表 温控表 温控表 温控表