分析Conveyor与OHT在生产传输上的差异性--以450mm晶圆厂为例.PDFVIP

工程科技與教育學刊 第七卷 第三期 民國九十九年六月 第 421～436 頁 分析 Conveyor 與 OHT 在生產傳輸上的差異性 --以 450mm 晶圓廠為例 王嘉男、許峰源 國立高雄應用科技大學 工業工程與管理系 E-mail: cn.wang@.tw 摘 要 全世界半導體產業逐漸成熟跟進，由於晶圓製程在技術不斷的改進以及經濟規模的考量下，依據摩爾定律 的演變，不久的未來，晶圓片的面積將由 300mm 增加至 450mm 。若是趨勢所至，晶圓的尺寸、重量將使半導 體廠內的相關設備技術面臨新一波的改革進化。以目前半導體廠產能績效而言，自動化物料搬運系統對於產品 在傳輸排程的改善或派車裝載的路線都將直接影響全廠的產出量。因此本研究以目前半導體廠的狀況為依據， 並提出傳輸帶與目前懸掛式吊載運輸車在傳輸結構上做比較，而傳輸帶也區分彎道及轉盤兩種不同的傳輸