纳米科技概论20140226(总论).ppt

三、纳米科技的体系范畴（6） 5、纳米电子学：研究纳米尺度的电子器件和理论及其制备技术。 研究背景 传统微电子学与器件的基础理论：即半导体P-N结理论在亚微米以下就失效了， 当电子器件的尺寸小到纳米数量级，电子的波动性及其相关效应将起主导作用。 纳米电子器件的设计指导思想（基础效应）： 量子相干效应 A-B效应（弹性散射不破坏电子相干性） 普适电导涨落 库仑阻塞效应 三、纳米科技的体系范畴（7） 5、纳米电子学： 目前的研究重点： 线宽为20-50纳米的集成电路 量子器件和分子计算单元：单电子器件、自旋电子器件、分子电子器件、共振隧道器件等： 纳米硅微波二极管及变容二极管 高速、高密度、超大容量存储器 器件开发指标（美国国防高级研究计划署提出） “双十二”的指标：运算速度1012次/S，存储量1012位（非常高的指标！） 即将给电子工业带来一场革命！ 部分研究进展 单有机分子量子结构，1mm2面积集中十亿个分子(集成度提高万倍!) 可容纳单电子的微结构器件 两个原子构成的隧道二极管，Xe原子开关（开关速度为0.05纳秒!） 三、纳米科技的体系范畴（8） 6、纳米机械学： 定义：集纳米技术、微电子技术、机械制造技术为一体，以制作纳米机械装置（又称微型机械或微机电系统）为目的的学科。尽管处于起始状态，但是前景诱人。 微机电系统（MEMS，欧洲称为Microsystem,日本称为Micr