原子力显微术轻敲模式中探针样品接触过程及相位衬度研究!-物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’# $$ ， ， ， Q6B +’# P6 + 1R?=B $$ （ ） !$$$K#-$L$$L’# $ L !$$4K$, 1CI1 .@MNOC1 NOPOC1 !$$ C=: + .J* + N6( + 原子力显微术轻敲模式中探针样品 接触过程及相位衬度研究! ）） ） ） ） ! 王晓平 刘 磊 胡海龙 张 琨 !）（中国科学技术大学物理系，合肥 #$$% ） ）（中国科学技术大学结构分析实验室，合肥 #$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$# ’ $$# !! # 借助简单的有阻尼受迫振子模型，研究了原子力显微术轻敲模式中探针与样品接触时间 、样品的表面形变 ! ( ) 和相位衬度对探针设置高度 及样品杨氏模量 的依赖关系 结果发现， 与 均随 及 的增大而减小，同 # $ + ! $ # ( * ( # * ( 时探针与样品作用过程伴随很小的能量耗散 对轻敲过程中相移量 的研究表明， 较大的样品有较小的 ，且 + $ ! * ! ! 随 的变化比 较小的样品明显 实验观察表明本模型及其计算结果可以较好地解释相位像中的相位衬度 # $ + + ( * 关键词：原子力显微术，轻敲模式，相位衬度 ： ， ， !## $,,- %!!%. %!$/ 有关形貌特征的确认提供根据，而且还包含了形貌