占空比对脉冲电弧离子镀AlCrSiN涂层热稳定性和抗氧化性的影响.PDF

第 31 卷  第 5 期 中  国  表  面  工  程 Vol. 31 No. 5 2018 年 10 月 CHINA SURFACE ENGINEERING October 2018   doi: 10.11933/j.issn.1007−9289.20180620003 占空比对脉冲电弧离子镀AlCrSiN 涂层热稳定性和 抗氧化性的影响 钟    星，王启民，许雨翔，伍一铭，莫锦君，吴正涛 (广东工业大学 机电工程学院，广州 510006) 摘 要: 采用脉冲和直流电弧离子镀技术制备AlCrSiN涂层，研究占空比对涂层结构和性能的影响。采用扫描电镜观 测涂层的生长形貌和化学成分，利用XRD分析涂层的相组成，结合光电子能谱技术分析涂层中元素化学键价，并通 过纳米压痕法检测涂层的硬度和弹性模量。此外，对涂层进行真空退火和氧化处理，以评价涂层的高温结构和力学 稳定性以及抗氧化性。结果表明：AlCrSiN涂层均为非晶SiN 包裹纳米晶(Al, Cr)N 的纳米复合结构；脉冲电弧沉积 3 4 可以改善涂层的表面质量、提高组织致密性和硬度。占空比为1%时，AlCrSiN涂层具有最小的表面粗糙度(47 nm)和 最高的硬度(31.5 GPa)。AlCrSiN涂层具有良好的热稳定性，950 ℃退火后其硬度仍高于30 GPa。AlCrSiN涂层的抗氧 化温度超过 1000 ℃；占空比的增加涂层的抗氧化性略有提升。 关键词: AlCrSiN；占空比；硬度；热稳定性；抗氧化性 中图分类号: TG174.444 文献标志码: A 文章编号: 1007−9289(2018)05–0099–09 Effects of Duty Cycle on Thermal Stability and Oxidation Resistance of AlCrSiN Coatings Deposited by Pulsed Arc Ion Plating ZHONG Xing, WANG Qimin, XU Yuxiang, WU Yiming, MO Jinjun, WU Zhengtao (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China) Abstract: AlCrSiN coatings were deposited using pulsed and DC arc ion plating, respectively. The effect of the duty cycle on the structure and properties of the coating were investigated. The growth morphology and chemical composition of the co