第五章-X射线能谱波谱分析技术.pptVIP

5.1 X射线（波谱）分析的理论基础 X射线的产生： 连续X射线 电子束在原子实（由原子核与紧密束缚的电子组成）的库仑场中减速，形成能量连续的X射线谱，其能量从零延伸到入射电子束的能量值 特征X射线 电子束与内壳层电子相互作用驱出束缚电子，使原子处于激发态，并在电子壳层内留出一个空位。在随后的去激过程中，某个外层电子发生跃迁填充这个空位．这个跃迁过程伴随着能量的变化，原子以发射X射线或者发射一个俄歇（俄歇（Auger））电子的形式释放能量。由于发射X射线的能量与原子中确定能级间的能量差有关，所以这种X射线称为特征X射线 X射线作为电磁辐射，其能量E与波长λ的关系 λ＝hc／eE＝1．2398／E（nm） 式中: h为普朗克常数，c为光速，e为电子电荷， E是以keV为单位的能量，λ的单位为nm。 由于用作X射线显微分析的谱仪包括波长谱仪(WDS)和能量谱仪(EDS)，所以通常用波长(nm或?)或者能量(keV)单位描述X射线。 一、连续谱X射线 在任何能量E或波长λ处的X射线连续谱的强度Icm由Kramers（1923）给出: 二、特征X射线 一个高能电子束与原子相互作用，引起一个内层电子发射，该原子在随后的去激过程中产生特征X射线。具有足够能量的电子束可驱出内层（K、L或M）的电子，使原子处于电离或激发态。电子在电离后约重10-12s内复原到基态（最低能量状态）。在复原过程中，电子从某一壳层跃迁到另一壳层，这些跃迁导致某种可能的结果：激发态原子的多余能量将以电磁波辐射的光子形式释放出来。该光子的能量等于在跃迁过程中有关壳层间的能量差，对于内层电子的跃迁，该光子的能量正好处于X射线电磁波的谱段内。 （a）临界电离能 （b）特征X射线的能量 莫塞莱（Moseley，1913，1914）： 由辐射跃迁而发射的X射线称为特征X射线，因为它的特定能量（和波长）表示了某个被激发元素的特征。壳层的能级随原子序数的不同而变化，因此即使相邻原子序数的原子其壳层间的能级差也有显著的变化。 λ＝B／（Z—C ）2 式中 B和C为常数，对于每个线系，它们的值不同； λ为特征X射线的波长。 （c）X射线谱线系 （d）谱线权重 虽然许多可能的跃迁能够填补壳层中出现的空位，从而产生不同能量的X射线，例如Kα和Kβ，就有多达25条不同的L谱线，每种类型的跃迁的几率，也有相当大的差别。我们用“谱线权重”表示形成某系谱线的相对几率，即引起某壳层电离的几率。 三、X射线产生的深度 特征X射线大部分产生在相互作用区内，这个相互作用区是由于电子在固体中的散射而形成的。为了预计X射线的产生深度，或“X射线的产生范围”和X射线源的大小（X射线空间分辨率），必须知道电子的穿透情况。电子的穿透范围可用下式表示： 在铝、铜和金中，Al Kα、Cu Kα、Cu Lα和Au Lα谱线的X射线产生范围与束能量的函数关系 5.2 能量谱仪 莫塞莱定律 莫塞莱（Mosely 1913，1914）发现，由辐射跃迁而发射的X射线，因为它特定能量（和波长）表示了某个被激发元素的特征。壳层的能级随原子序数的不同而变化，因此即使相邻原子序数的原子其壳层间的能级差也有显著的变化，各种元素的特征X射线波长λ与原子序数Z之间的关系可以用下式表示： 特征X射线的能量与波长的关系 式中 E―X光子能量 ?―特征X射线波长 C―光速 H―普朗克常数 测量X射线光子能量和测量X射线波长是等价的。 以布拉格衍射为依据利用分光晶体，对特征X射线波长进行分光，一般称波长色散法，所用仪器叫X射线波谱仪（WDS）；用半导体检测器对特征X射线能量进行分光，称能量色散法，所用仪器叫X射线能谱仪（EDS）。 X射线能谱仪的结构原理 5.3 波长谱仪 布拉格（Bragg）方程 : 射线是波长很短的电磁波 , X光子以θ入射角射入晶面发生衍射 。 2dsinθ=nλ 式中 λ--特征X射线波长 θ--衍射X射线与衍射晶面夹角（布拉格角） d--分光晶体晶面间距 n--衍射级数，为整数1、2、…… X射线波谱仪的结构原理 5.4 波谱仪（WDS）与能谱仪（EDS）的对比 波谱仪（WDS）的能量分辨率（优于10eV）、检测限（0.1～0.001％WT）、定量分析精度（0.1～0.2％）比较高，但它要求试样表面平整光滑、其分析速度较慢（30分钟左右）、其空间分辨率较低（最小分析区域Φ1μm以上）；能谱仪（EDS）的能量分辨率（优于140eV）