基于FTS的微结构表面超精密车削控制系统及实验研究-机械制造及其自动化专业论文.docxVIP

Classified Index: TG519.3 School Code: 10213 U.D.C.: 621 Confidentiality Level: public Dissertation for the Doctoral Degree in Engineering RESEARCH ON THE CONTROL SYSTEM AND EXPERIMENTAL STUDY OF ULTRA-PRECISION DIAMOND TURNING OF MICROSTRUCTURED SURFACES BASE ON FTS Candidate： Xiaohui Wang Supervisor： Prof. Tao Sun Academic Degree Applied for： Doctor of Engineering Mechanical Manufacturing and Speciality：  Automation Affiliation： School of Mechatronics Engineering Date of Defence： June, 2011 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 摘 要 微结构表面是指具有特定微小拓扑形状的功能表面，由于其独特的光学特 性、粘附性、摩擦性、耐腐蚀性等，在民用和军用工业领域中有着广泛的应用。 利用快速伺服刀架(FTS)作为精密微位移加工模块来车削加工微结构表面的方 法已经成为微结构表面切削加工的一种主流技术。目前，世界发达国家已经研 发了基于 FTS 的微结构表面切削加工的超精密加工设备及其多轴数控系统，并 成功的实现了高精度微结构表面的加工。国内对微结构表面切削加工的研究仅 仅处于起步阶段，无论是加工设备还是加工质量与国外相比还具有相当大的差 距。基于此，本文搭建了可用于复杂微结构表面加工的多轴数控系统，并针对 微结构表面切削加工过程中的控制与优化问题进行了相应的研究。 建立多轴联动数控系统是实现非回转对称微结构表面加工的前提条件。为 了满足加工实时性的要求，搭建的数控系统将 FTS 模块作为一个加工轴来对待， 这样就避免了为 FTS 设置独立的控制模块所带来的其他加工轴与之通讯的问 题。由于在非回转对称微结构表面的加工中 FTS 的输出位移量是由主轴的角度 位置 θ 和 X 轴方向的刀具位置共同决定的，本文利用 UMAC 控制器的时基触 发控制方法实现 FTS 进给与主轴转角和 X 轴进给的精确同步，实现非回转对称 微结构表面的加工。建立面向微结构加工的数控系统人机界面，及能够实现典 型微结构表面加工的自动编程系统。 作为 FTS 的驱动元部件，压电陶瓷本身所固有的迟滞、蠕变等非线性特点 不但会降低 FTS 系统的控制精度，而且可能造成系统失稳。因此，为了减小迟 滞非线性的影响，提高 FTS 的跟踪控制精度，本文利用拓展输入空间法建立 FTS 迟滞系统的 RBF 神经网络模型，并在其逆模型基础上实现了 FTS 的闭环控制。 由于理论上神经网络只能对一一映射或多对一映射建模，不能辨识 FTS 系统的 迟滞特性这类多值映射的非线性现象，因此引入迟滞算子的概念，将迟滞算子 的输出与系统的输入一起作为神经网络的输入向量，实现迟滞系统由多值映射 到单值映射的转换。由于实际加工过程中使用的 UMAC 控制器将快速伺服刀架 (FTS)也作为一个加工轴来对待，因此，利用 UMAC 控制器底层伺服控制开放 性这一特点，编写自定义伺服算法代替控制器内建的 PID 算法，达到了对 FTS 精确控制的目的。 为了提高加工工件的表面精度，误差补偿方法是最为经济有效地方法之一。 由于在微结构表面的超精密车削加工过程中，切削深度是随着微结构表面的轮 廓不断变化的，不同于普通的平面切削加工。因此，针对微结构表面切削加工 的特点，我们提出了基于最小二乘支持向量机(LS-SVM)的误差补偿方法。通过 分析在不同加工参数下得到的微结构表面误差轮廓，利用 LS-SVM 在小样本空 间下的回归功能建立微结构表面切削加工过程的误差模型，并利用 FTS 作为误 差补偿机构用以补偿在微结构表面切削过程中各种系统误差因素对加工表面轮 廓精度的影响。通过回转对称正弦波微结构表面的误差补偿加工实验来证明该 误差补偿方法的有效性。 应用搭建的多轴联动控制系统进行了相应的加工实验研究，成功实现了五 波瓣微结构表面、正弦网格微结构表面等非回转对称微结构表面的车削加工。 利用二维离散 Fourier 变换(2D-DFT)对已加工的正弦网格表面进行评价，分析了 其表面误差频率成分及成因，并提出了相应的改进策略。 关键词 微结