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法KX晶体生长数值模拟研究
第 卷第 期 压 电 与 声 光
年 月
文章编号
法晶体生长数值模拟研究
李璐杰程红娟张颖武于 凯
中国电子科技集团公司第四十六研究所天津
摘 要采用有限元模拟软件对液封直拉 法生长锑化镓晶体过程进行计算机建模模拟分析了晶体旋
转坩埚旋转及隔热屏等因素对 固 液界面形貌的影响结果表明晶体旋转与坩埚旋转分别具有促使凸向
熔体的固 液界面曲率减小及增大的作用且同等转速条件下坩埚旋转对固 液界面形貌影响更大此外减小放
肩角度去除炉体上部的隔热屏等措施均具有使凸向熔体的固 液界面曲率降低的作用而使用液封剂使凸向熔
体的固 液界面曲率增大坩埚在加热器中存在某一位置使熔体内部轴向梯度最大炉膛内氩气流速最剧烈部
位为保温罩与拉晶杆间的区域 气对流导致上炉膛温度提高并降低熔体表面温度约
关键词液封直拉法 固 液界面强制对流液封剂放肩角度隔热屏坩埚位置
中图分类号 文献标识码
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