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Effect of non-ideal performance of lasers in dual-wavelength single-grating
nanometer measurement
Article · June 2011
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Shuhua Yan
National University of Defense Technology
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第 卷第 期 年 月
40 6 红外与激光工程 2011 6
Vol.40 No.6 Infrared and Laser Engineering Jun. 2011
双波长单光栅纳米测量中激光器性能非理想的影响
王国超，颜树华，周卫红，牛正一，谢学东
( 国防科学技术大学机电工程与自动化学院，湖南长沙410073)
摘 要： 阐述了双波长单光栅式大量程纳米级位移测量系统的基本原理，并对系统具有的量程大、精
度高、稳定性好等特点进行了介绍。 由于系统进行的是高精度纳米级的位移测量，必须考虑各种不利
因素造成的误差影响，主要分析讨论了双频激光器性能非理想所造成的误差，包括波长不稳定造成的
线性误差及椭圆极化偏振所造成的非线性误差。并在理论建模的基础上，导出了相应的误差表达式。
最后通过仿真计算，指出波长不稳定造成的线性误差的极限值为2 nm ，在非正交角为1.1° ，渥拉斯顿
棱镜的透过率T 、T 分别为0.85 、1 时，椭圆极化偏振所造成的非线性误差极值达到1.54 nm ，并选取
x y
不同的非正交角及T 、T 对误差变化规律进行了研究分析。
x y
关键词： 位移测量； 光栅； 外差干涉； 波长不稳定； 非正交角
中图分类号： TH744.3 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2011)06-1119-06
Effect of non-ideal performance of lasers in dual-wavelength single-
grating nanometer measurement
Wang Guochao, Yan Shuhua, Zhou Weihong, Niu Zhengyi, Xie Xuedong
(College of Mechatroni
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