基于InP工艺的60GHz片上集成天线研究-电路与系统专业论文.docxVIP

Dissertation Submitted to Hangzhou Dianzi University for the Degree of Master Investigation on 60GHz InP On-Chip Antenna Candidate: Wang Jian Supervisor: Professor Luo Guoqing March，2015 杭州电子科技大学 学位论文原创性声明和使用授权说明 原创性声明 本人郑重声明： 所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取得 的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不含任何其他个人或集体已经发表或撰写过 的作品或成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。申 请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切相关责任。 论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文使用授权说明 本人完全了解杭州电子科技大学关于保留和使用学位论文的规定，即：研究生在校攻读 学位期间论文工作的知识产权单位属杭州电子科技大学。本人保证毕业离校后，发表论文或 使用论文工作成果时署名单位仍然为杭州电子科技大学。学校有权保留送交论文的复印件， 允许查阅和借阅论文；学校可以公布论文的全部或部分内容，可以允许采用影印、缩印或其 它复制手段保存论文。（保密论文在解密后遵守此规定） 论文作者签名： 日期： 年 月 日 指导教师签名： 日期： 年 月 日 摘 要 随着当前第四代无线通信技术的到来，人们对于信息传输高速化，信息容量最大化的要 求越来越高，故此毫米波技术受到了人们的热切关注。片上集成天线是毫米波技术的一个重 要应用，传统的片上集成天线大都采用 CMOS 工艺，但由于硅衬底具有高介电常数和低电阻 率的固有缺点，导致了 CMOS 工艺下的片上天线普遍存在辐射效率不高的现象。故此本文将 利用新型工艺——磷化铟（InP）工艺设计 60GHz 频段上的片上集成天线。并且应用了人工 磁导体（AMC）技术进一步提高了天线的辐射效率。本文主要在以下几个方面做出研究： 1） 对 CMOS 工艺和 InP 工艺进行了深入地调研，熟悉了 CMOS 工艺和 InP 工艺各层的结 构和工艺制作技术。 2） 设计了基于新型 InP 工艺的片上偶极子天线。我们分别在 InP 工艺和 SMIC 0.18-um CMOS 工艺下集成了最经典的偶极子天线，通过电磁仿真软件 HFSS 13.0 的计算分析， 成功地得出了 InP 工艺下片上偶极子天线的带宽和增益与 CMOS 工艺相比，都有一定 的提高的结论。 3） 设计了几款不同形式的人工磁导体结构。我们通过电磁仿真软件在单个人工磁导体单元 周围设置边界条件，来模拟无限大周期的人工磁导体，成功地设计出了标准十字形，正 六边形，雪花型和工字型的人工磁导体结构。 4） 研究了基于新型人工磁导体的不同周期排列和布置下的片上偶极子天线设计。通过已经 设计出的人工磁导体结构，我们分别在“雪花型”和“工字型”人工磁导体下设计片上 偶极子天线。通过对人工磁导体的不同周期排列，我们得出了增大天线电流方向和减少 垂直电流方向的人工磁导体数目能提高天线的辐射效率的结论。 5） 基于 InP 工艺和 AMC 技术设计了一款新型的片上圆极化天线。在证实了新型 InP 工艺 的优势和人工磁导体的性能后，我们针对当前圆极化天线的普遍应用，在 InP 工艺下设 计了一款新型的环形圆极化天线。并且通过引入人工磁导体技术，进一步提高了天线的 增益。本文所设计的圆极化天线具有体积小，带宽大，增益高，并且极化方式方便调整 的优点。 关键词：毫米波技术，片上集成天线，磷化铟（InP）工艺，人工磁导体（AMC），圆极化天 线 I ABSTRACT With the development of 4G of wireless communication technology, people are having increasing demands on high speed transmission of information and the information capacity maximization, thus the millimeter wave technology has aroused widly concern. Serving as one of the important application of millimeter wave technology, the traditional Antenna on Chip (AOC) mostly adopts a CMOS process. However, due to the high die