《薄膜涂层材料》教学大纲.docVIP

PAGE PAGE 160 《薄膜涂层材料》教学大纲 一、课程基本信息 课程编码： 中文名称：薄膜涂层材料 英文名称：Thin Film Materials 课程类别：专业拓展课 总 学 时：30 总 学 分：2 适用专业：材料化学 先修课程：无机化学、有机化学、普通物理、材料科学基础 二、课程的性质、目标和任务 课程性质：《薄膜涂层材料》主要是介绍薄膜材料的制备及特性，论述薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识，重点介绍薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行介绍、评述和展望。在保证课程教学科学性和系统性的前提下，着重突出薄膜材料与薄膜技术的的实用性。有关的基本概念、基本知识和基本技能，作为教学的重点内容。 本课程的教学目标是在结合典型实例，深入浅出地阐明薄膜材料与薄膜技术的基本原理和相关制备技术的基础上，通过教师讲授和学生讨论相结合的方式，将培养和提高学生分析问题和解决问题的能力作为教学重点。通过本科阶段系统学习薄膜涂层技术基本理论、基本知识和基本技能，使学生成为具有高起点、能适应未来发展需要的专业人才。 三、课程教学基本要求 本课程的前修课程是大学物理、物理实验、材料科学基础、材料性能学、材料现代分析方法、无机化学和固体物理等课程。这些先修课程将为学生学习本门课程奠定相关的知识基础，对于理解和掌握本课程中重点知识提供帮助。同时，本课程中的一些知识点又是对先修课程的扩展和应用。 考核方式为开卷考试；严格考核学生出勤情况，达到学籍管理规定的旷课量取消考试资格；综合成绩根据出勤情况、平时成绩和期末成绩评定，出勤情况和平时成绩（包括课后作业、笔记）占40％，期末成绩占60％。 四、课程教学内容及要求 第一章 物理气相沉积（8学时） 【教学目标与要求】 1、教学目标： 了解物理气相沉积概念、原理、特点和应用。 2、教学要求： 通过讲解介绍当前生活、科技领域中物理气相沉积技术的应用，引发学生兴趣。 【教学重点与难点】 1、教学重点： 准确理解和掌握真空蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀膜的原理与区别。 2、教学难点： 准确理解真空蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀膜的原理。 【教学内容】 1.1 物理气相沉积概述 1.2 真空蒸发镀膜的技术特点、原理及应用 1.3 溅射镀膜的技术特点、原理及应用 1.4 离子镀膜原理、类型、特点及应用 第二章 化学气相沉积（10学时） 【教学目标与要求】 1、教学目标： 了解化学气相沉积概念、类型、原理、特点和应用。 2、教学要求： 通过讲解介绍化学气相沉积在当前生活、科技领域中的应用，引发学生兴趣。 【教学重点与难点】 1、教学重点： 准确理解和掌握流动气体边界层及影响因素、扩散和对流，CVD中薄膜生长动力学。 2、教学难点： 准确理解CVD中薄膜生长动力学。 【教学内容】 2.1 化学气相沉积的特点和分类 2.2 CVD反应类型 2.3 CVD过程的热力学 化学反应的自由能变化、CVD中的化学平衡计算。 2.4 CVD中的气体输运 流动气体边界层及影响因素、扩散和对流。 2.5 CVD中薄膜生长动力学 薄膜生长均匀性、温度与沉积速率。 2.6 CVD中装置 2.7 低压化学气相沉积 2.8 等离子化学气相沉积 等离子体性质、PCVD特点、常用PCVD装置。 2.9 金属有机物化学气相沉积 2.10 激光化学气相沉积 2.11 分子束外延 第三章 硬膜材料（8学时） 【教学目标与要求】 1、教学目标： 了解金刚石薄膜、类金刚石薄膜、立方氮化硼薄膜、CNx膜等氮化物、碳化物、氧化物薄膜的制备工艺、结构、特点及应用性能。 2、教学要求： 通过讲解介绍硬膜材料在当前生活、科技领域中的应用，引发学生兴趣。 【教学重点与难点】 1、教学重点： 准确理解和掌握低压气相生长金刚石的驱动力、DLC膜的制备方法、氮化物膜的表征方法。 2、教学难点： 准确理解低压气相生长金刚石的驱动力。 【教学内容】 3.1 金刚石薄膜的制备、特点及应用 金刚石的结构、特点，金刚石的力学、电学、热学、光学等性能，金刚石的性质及应用，金刚石薄膜的表征，低压合成金刚石薄膜的机理等。 3.2 类金刚石薄膜的制备、结构、性能及应用 DLC膜的力学、电学、光学等性能及应用。 3.3 立方氮化硼薄膜 氮化硼结构、性质、相图及应用。 3.4 CNx薄膜 CNx薄膜结构表征、性能分析及其制备应用。 3.5 ?氮化物、碳化物、氧化物及复合薄膜 第四章 薄膜在液相中的化学及电化学制备（6学时） 【教学目标与要求】 1、教学目标： 了解薄膜在液相中的化学转化、电化学转化的制备机理，微弧氧化原理及应用。 2、教学要求： 通