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第九章 透射电子显微镜 第九章 透射电子显微镜 §9－1 透射电镜主要结构 §9－1 透射电镜主要结构 §9－2 透射电镜电子图象形成原理 §9－2 透射电镜电子图象形成原理 §9－3 透射电镜样品制备 §9－3 透射电镜样品制备 §9－4 电子衍射及结构分析 §9－4 电子衍射及结构分析 透射电子显微镜 透射电子显微镜 透射电子显微镜是利用电子的波动性 透射电子显微镜是利用电子的波动性 来观察固体材料内部的各种缺陷和直接观 来观察固体材料内部的各种缺陷和直接观 察原子结构的仪器。尽管复杂得多，它在 察原子结构的仪器。尽管复杂得多，它在 原理上基本模拟了光学显微镜的光路设 原理上基本模拟了光学显微镜的光路设 计，简单化地可将其看成放大倍率高得多 计，简单化地可将其看成放大倍率高得多 的成像仪器。一般光学显微镜放大倍数在 的成像仪器。一般光学显微镜放大倍数在 数十倍到数百倍，特殊可到数千倍。而透 数十倍到数百倍，特殊可到数千倍。而透 射电镜的放大倍数在数千倍至一百万倍之 射电镜的放大倍数在数千倍至一百万倍之 间，有些甚至可达数百万倍或千万倍。 间，有些甚至可达数百万倍或千万倍。 电镜的主要结构 电镜的主要结构 目前，风行于世界的大型电镜，分辨本领为2~3 埃， 电压为100～500kV，放大倍数50~1200,000倍。由于材 料研究强调综合分析，电镜逐渐增加了一些其它专门仪器 附件，如扫描电镜、扫描透射电镜、X射线能谱仪、电子 能损分析等有关附件，使其成为微观形貌观察、晶体结构 分析和成分分析的综合性仪器，即分析电镜。它们能同时 提供试样的有关附加信息。 高分辨电镜的设计分为两类：一是为生物工作者设计 的，具有最佳分辨本领而没有附件；二是为材料科学工作 者设计的，有附件而损失一些分辨能力。另外，也有些设 计，在高分辨时采取短焦距，低分辨时采取长焦距。 高分辨分析透射电子显微镜 JEM200CX 高分辨分析透射电子显微镜 JEM200CX 高分辨分析透射电子显微镜JEM2010 §9－1 透射电镜主要结构 §9－1 透射电镜主要结构 电镜的基本组成包括电子枪（光源）与加速级管、 电镜的基本组成包括电子枪（光源）与加速级管、 聚光系统、成像系统、放大系统和记录系统。光 聚光系统、成像系统、放大系统和记录系统。光 路上主要由各种磁透镜和光阑组成. 路上主要由各种磁透镜和光阑组成. 1．照明系统 1．照明系统 2 ．成像放大系统 2 ．成像放大系统 1）．物镜 1）．物镜 2 ）．光阑 2 ）．光阑 3 ）．中间镜、投影镜 3 ）．中间镜、投影镜 M ＝M ×M ×M M总 ＝M物 ×M中 ×M投 总 物 中 投 3．显象记录系统 3．显象记录系统 透射电镜组成示意图 光学显微镜和电镜路图比较 请看下图 请看下图 光源 电子枪 聚光镜 聚光镜 试样 试样 物镜 物镜 中间象 中间象 目镜 投影镜 毛玻璃